[發明專利]一種光伏型反射式液晶空間光調制器

有效

• 申請號: 201610188532.1
• 申請日: 2016-03-29
• 公開（公告）號: CN105629564B
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 蔣向東;伍海峰;王繼岷;張悅
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232
• 代理人: 葛啟函

1.一種光伏型反射式液晶空間光調制器，包括平行相對設置的第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)，第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)相向側分別沉積有第一透明導電薄膜層(2)和第二透明導電薄膜層(9)從而形成第一導電玻璃和第二導電玻璃，第一導電玻璃與第二導電玻璃之間依次設有光敏層(3)、阻光層(4)、介質反射鏡(5)、第一取向層(6)、液晶層(7)及第二取向層(8)；其特征在于，所述光敏層(3)結構為p型摻雜的硅納米線(31)和沉積于硅納米線(31)陣列上n型摻雜的氫化非晶硅薄膜(32)形成的復合納米結構，所述硅納米線(31)垂直于第一透明導電薄膜層(2)排列。

2.根據權利要求1所述的光伏型反射式液晶空間光調制器，其特征在于，所述光敏層(3)的厚度為2μm-6μm。

3.根據權利要求2所述的光伏型反射式液晶空間光調制器，其特征在于，所述光敏層(3)中p型摻雜的硅納米線(31)長度為1μm～4μm，直徑為80nm～150nm。

4.根據權利要求3所述的光伏型反射式液晶空間光調制器，其特征在于，所述光敏層(3)中n型摻雜的氫化非晶硅薄膜(32)厚度為1μm～2μm。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的光伏型反射式液晶空間光調制器，其特征在于，所述阻光層(4)材料為碲化鎘、非晶碳、氫化非晶鍺硅、氫化微晶硅或氫化納米晶硅，所述阻光層(4)厚度為300nm～800nm。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的光伏型反射式液晶空間光調制器，其特征在于，所述介質反射鏡(5)的透射率小于1％。

7.根據權利要求1至4中任一項所述的光伏型反射式液晶空間光調制器，其特征在于，所述第一取向層(6)及第二取向層(8)均為聚酰亞胺取向層。

8.根據權利要求1至4中任一項所述的光伏型反射式液晶空間光調制器，其特征在于，所述第一透明導電薄膜層(2)與光敏層(3)之間設有增透膜層。