[發明專利]在線密封檢測裝置、多節式密封腔加工設備及方法

有效

• 申請號: 201610187386.0
• 申請日: 2016-03-29
• 公開（公告）號: CN105738047B
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 李春風
• 申請（專利權）人: 威格氣體純化科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: G01M3/26
• 分類號: G01M3/26
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司32232
• 代理人: 何蔚

技術領域

本發明涉及一種密封檢測技術，具體涉及一種在線密封檢測裝置、多節式密封腔加工設備及方法。

背景技術

在科學研究和工業生產中，常常會用到真空設備、高壓設備、生物隔離設備以及惰性氣氛環境設備等需要內部具有真空環境的加工設備。這些設備可以為科學研究及工業生產創造各種工作環境，由此來滿足各種不同的嚴苛工藝需求。但是，這些設備都是創立一個與外界不一樣的獨立的環境空間，這就需要密封起來與外界隔絕。如果設備不密封就很難實現優秀的科研生產環境，也無法滿足嚴苛的要求。如果對設備進行密封之后，后續就需要在生產過程中進行密封檢驗，以及對使用過程中密封進行監控或者對用戶使用后出現不密封時進行診斷。

目前的密封檢測通常采用氦質譜檢測儀，需要借助專門的檢測儀器，并且還需要使用到氦氣等，不能實現實時且在線的監控；尤其是對于的多節式的大型互聯設備，檢測工作還得是人工對每個密封面一一檢測，工作量非常巨大，還十分影響檢測效率。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種可以實現在線監控且可以適應多節式密封腔加工設備的在線密封檢測裝置、多節式密封腔加工設備及方法。

為了達到上述目的，本發明的技術方案如下：

在線密封檢測裝置，設置于兩個部件的對接面，其包括：

密封圈，其安裝于兩個部件的對接面內，該密封圈內設有周向的至少一腔室；

進出氣單元，其連通腔室的內部，該進出氣單元上設置有至少一檢測單元，該檢測單元電連接處理器，用于檢測進出氣單元內的氣體壓力值和/或氣體濃度值，然后將氣體壓力值和/或氣體濃度值發送至處理器。

本發明的在線密封檢測裝置主要設置了密封圈和進出氣單元等，在通過具有周向的腔室的密封圈密封兩個部件的對接面后，再將進出氣單元連通腔室的內部，該腔室可以負壓或正壓，亦可充特殊氣體，然后通過檢測單元來檢測進出氣單元內的氣體壓力值和/或氣體濃度值，處理器再開始做分析和判斷，由此便可以快速地知道腔室內是否存在漏氣現象，也可以進而知道腔體內是否處于真空狀態。

因此，本發明與現有技術相比，可以實現對腔體室密封的在線檢測，且可以同時對多節式密封腔加工設備的各工位進行檢測，有效地提高對于多節式密封腔加工設備的密封檢測效率，更加適應多節式密封腔加工設備的檢測要求，從而可以更好更方便地在線對真空設備、高壓設備、生物隔離設備，以及惰性氣氛環境設備等的生產與使用過程中的密封進行檢測與監控，尤其是大型互聯設備的檢測與監控。

在上述技術方案的基礎上，本發明還可以作如下改進：

作為優選的方案，上述的進出氣單元上設置進氣控制部和/或出氣控制部，其分別電連接處理器，該處理器在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，與處理器內預設的值進行對比，然后處理器根據對比結果控制進氣控制部和出氣控制部通過進出氣單元對腔室進行加氣和/或減氣。

采用上述優選的方案，可以實現對于腔體內的真空度的及時和自動化的調整。

作為優選的方案，上述的進出氣單元為管路。

采用上述優選的方案，可以便于氣體的通過，也可以便于對于密封的檢測。

作為優選的方案，上述的進氣控制部和出氣控制部為電磁閥或氣動閥。

采用上述優選的方案，可以便于對進氣和出氣的自動化控制。

作為優選的方案，上述的檢測單元包括壓力傳感器和/或濃度傳感器。

采用上述優選的方案，可以實現對于壓力和濃度的檢測。

作為優選的方案，上述的處理器還電連接報警單元，處理器在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，根據設定控制報警單元向外界報警。

采用上述優選的方案，可以提示外界知道設備內真空度的變化。

多節式密封腔加工設備，包括至少兩個相對接的真空裝置，該真空裝置內設有腔體，該至少兩個真空裝置的部件的對接面上設置有上述在線密封檢測裝置。

本發明的多節式密封腔加工設備采用了上述的在線密封檢測裝置，因此具有與其相同的技術效果。

作為優選的方案，上述的真空裝置為手套箱。

采用上述優選的方案，可以使得在線密封檢測裝置直接應用于手套箱。

在線密封檢測方法，其包括以下步驟：

1)在兩個部件的對接面內安裝密封圈，并在密封圈內設置周向的至少一腔室；