[發明專利]應力調控波導層綠光激光器外延片及其制備方法有效
| 申請號： | 201610183087.X | 申請日： | 2016-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN105811243B | 公開（公告）日： | 2018-10-26 |
| 發明（設計）人： | 楊靜;趙德剛;陳平;朱建軍;劉宗順 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | H01S5/323 | 分類號： | H01S5/323 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 應力 調控 波導 層綠光 激光器 外延 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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