[發明專利]多片大面積單面或雙面超導薄膜基片夾具

有效

• 申請號: 201610182836.7
• 申請日: 2016-03-28
• 公開（公告）號: CN105734564B
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 王三勝
• 申請（專利權）人: 北京鼎臣世紀超導科技有限公司
• 主分類號: C23C26/00
• 分類號: C23C26/00;H01L39/24
• 代理公司: 北京中企鴻陽知識產權代理事務所(普通合伙) 11487
• 代理人: 劉葛;郭鴻雁

1.一種多片大面積單面或雙面超導薄膜基片夾具，包括托桿，其特征在于：還包括基片夾，基片夾包括連接桿、半圓形固定夾具、半圓形活動夾具，連接桿上設置一組或多組半圓形固定夾具，每組包括多個半圓形固定夾具，每組的多個半圓形固定夾具沿連接桿的外壁均勻設置，并與連接桿固定連接，每個半圓形固定夾具的內環面上對稱設置一對第一固定爪，每個半圓形固定夾具的兩端分別設置第一連接耳，半圓形活動夾具的數量與半圓形固定夾具相同，每個半圓形活動夾具的內環面上對稱設置一對第二固定爪，第二固定爪的形狀與第一固定爪相同，每個半圓形活動夾具的兩端分別設置第二連接耳，第二連接耳與第一連接耳可連接在一起，將半圓形活動夾具與半圓形固定夾具組裝在一起。

2.根據權利要求1所述的多片大面積單面或雙面超導薄膜基片夾具，其特征在于：所述第一固定爪的內表面為圓弧形。

3.根據權利要求2所述的多片大面積單面或雙面超導薄膜基片夾具，其特征在于：所述第一固定爪和第二固定爪在半圓形活動夾具與半圓形固定夾具組成的內環面上均勻布置。

4.根據權利要求3所述的多片大面積單面或雙面超導薄膜基片夾具，其特征在于：每組所述半圓形固定夾具的數量為2-4個。

5.根據權利要求2所述的多片大面積單面或雙面超導薄膜基片夾具，其特征在于：所述托桿的上端設置內螺紋，連接桿的下端設置與托桿上內螺紋相匹配的外螺紋，連接桿下端與托桿上端通過螺紋固定在一起，并通過圓形螺母鎖緊。

6.根據權利要求5所述的多片大面積單面或雙面超導薄膜基片夾具，其特征在于：所述托桿的下端設置銷孔。

7.根據權利要求6所述的多片大面積單面或雙面超導薄膜基片夾具，其特征在于：所述銷孔的上、下側對稱設置上、下凸榫。