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[發明專利]在基體、涂層基體和包含涂層基體的半成品上產生結構化涂層的方法有效

專利信息
申請號: 201610182116.0 申請日: 2010-07-22
公開(公告)號: CN106435485B 公開(公告)日: 2020-04-21
發明(設計)人: 于爾根·萊布;烏利·漢森;西蒙·毛斯 申請(專利權)人: MSG里松格萊斯有限責任公司
主分類號: C23C14/30 分類號: C23C14/30;C23C14/04;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/06;H01L21/48;H01L23/498
代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 代理人: 王潛;郭國清
地址: 德國德*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基體 涂層 包含 半成品 產生 結構 方法
【權利要求書】:
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4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖;

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