[發明專利]在基體、涂層基體和包含涂層基體的半成品上產生結構化涂層的方法有效
| 申請號: | 201610182116.0 | 申請日: | 2010-07-22 |
| 公開(公告)號: | CN106435485B | 公開(公告)日: | 2020-04-21 |
| 發明(設計)人: | 于爾根·萊布;烏利·漢森;西蒙·毛斯 | 申請(專利權)人: | MSG里松格萊斯有限責任公司 |
| 主分類號: | C23C14/30 | 分類號: | C23C14/30;C23C14/04;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/06;H01L21/48;H01L23/498 |
| 代理公司: | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人: | 王潛;郭國清 |
| 地址: | 德國德*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 基體 涂層 包含 半成品 產生 結構 方法 | ||
【權利要求書】:
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