[發(fā)明專利]一種晶圓對中機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610174095.8
• 申請日: 2016-03-24
• 公開（公告）號: CN107230657B
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發(fā)明（設計）人: 李曉飛;孫元斌
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種晶圓對中機構，包括吸盤支撐及安裝在該吸盤支撐上的吸盤；其特征在于：所述吸盤(2)的下方設有夾持氣缸(3)，該夾持氣缸(3)兩側的輸出端分別連接有對中塊(7)，兩側的所述對中塊(7)上分別均布有多個柱塞彈簧對中組件；各所述柱塞彈簧對中組件結構相同，均包括柱塞蓋板(8)、彈簧柱塞(9)、觸點(10)、柱塞安裝塊(11)及觸點壓蓋(12)，該柱塞安裝塊(11)安裝在所述對中塊(7)上，所述彈簧柱塞(9)容置在柱塞安裝塊(11)內、并通過安裝在柱塞安裝塊(11)上的所述柱塞蓋板(8)上下限位，所述柱塞蓋板(8)上設有對彈簧柱塞(9)伸縮方向限位的固定裝置；所述觸點(10)的一側容置于柱塞安裝塊(11)內、并與所述彈簧柱塞(9)抵接，另一側位于所述柱塞安裝塊(11)的外部、與晶圓(1)接觸，在該觸點(10)上方設有安裝在柱塞安裝塊(11)上、對觸點(10)上下限位的觸點壓蓋(12)；各所述柱塞彈簧對中組件中的觸點(10)抵接于不同直徑的晶圓(1)邊緣，通過所述彈簧柱塞(9)的伸縮實現(xiàn)對不同直徑的晶圓(1)的對中。

2.按權利要求1所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述固定裝置為頂絲固定結構，即在所述柱塞蓋板(8)上設有頂絲孔(13)，該頂絲孔(13)內安裝有與所述彈簧柱塞(9)抵接的頂絲，通過所述頂絲施加在彈簧柱塞(9)上的力限制所述彈簧柱塞(9)沿伸縮方向發(fā)生竄動。

3.按權利要求2所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述柱塞安裝塊(11)上開有多個調整孔(19)，每個所述柱塞安裝塊(11)分別通過各自上的調整孔(19)調整安裝在所述對中塊(7)上的位置，進而調整每個所述觸點(10)與晶圓(1)的接觸位置。

4.按權利要求1所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述柱塞安裝塊(11)上開有凹槽A(15)，所述觸點(10)的一側容置在該凹槽A(15)內，所述柱塞安裝塊(11)的內側設有與所述凹槽A(15)連通的豁口(16)，所述觸點(10)位于柱塞安裝塊(11)外的另一側的底部位于該豁口(16)底部的下方。

5.按權利要求4所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述柱塞安裝塊(11)的內側為弧形，所述觸點(10)與晶圓(1)接觸的另一側為弧形。

6.按權利要求4所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述觸點壓蓋(12)安裝在柱塞安裝塊(11)的上表面，位于所述凹槽A(15)的上方。

7.按權利要求1所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述柱塞安裝塊(11)上分別開有條形孔(14)及凹槽C(18)，所述彈簧柱塞(9)容置于條形孔(14)內，所述凹槽C(18)位于彈簧柱塞(9)的上方，所述柱塞蓋板(8)安裝在所述凹槽C(18)內，上表面與所述柱塞安裝塊(11)的上表面及對中塊(7)的上表面均共面。

8.按權利要求1所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述吸盤(2)兩側的對中塊(7)對稱設置，每個所述對中塊(7)的內側均為弧形，在每個所述對中塊(7)上均開有多個凹槽B(17)，每個凹槽B(17)內均固定有柱塞安裝塊(11)。

9.按權利要求1或8所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述對中塊(7)通過對中連接臂與夾持氣缸(3)的輸出端相連接。

10.按權利要求9所述的晶圓對中機構，其特征在于：所述對中連接臂包括對中連接臂A(5)及對中連接臂B(6)，該對中連接臂A(5)為“L”形，一側與所述夾持氣缸(3)的輸出端相連，另一側與所述對中連接臂B(6)連接，所述對中連接臂B(6)固接在所述對中塊(7)上。