[發明專利]集成有天線結構的聲表面波作用力傳感器

在審

• 申請號: 201610173542.8
• 申請日: 2016-03-24
• 公開（公告）號: CN107230819A
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 張凱
• 申請（專利權）人: 成都燈島科技有限公司
• 主分類號: H01Q1/22
• 分類號: H01Q1/22;G01L1/25
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.集成有天線結構的聲表面波作用力傳感器，其特征在于，包括壓電基底(1)、電極面(2)、天線圖形(3)、叉指換能器IDT(4)和反射柵(5)，壓電基底(1)為圓柱形結構，壓電基地(1)的一個端面上設有凹槽，叉指換能器IDT(4)和反射柵(5)位于凹槽之中；叉指換能器IDT(4)位于凹槽的中部，反射柵(5)分別位于叉指換能器IDT(4)的兩側，叉指換能器IDT(4)的兩端與電極面(2)相連，電極面(2)呈扇形并延伸到壓電基底(1)的端面邊緣，電極面(2)之間的壓電基底(1)端面上設置有天線圖形(3)。

2.根據權利要求1所述的聲表面波作用力傳感器，其特征在于，所述的壓電基底(1)采用單晶石英壓電基底或多層基底。

3.根據權利要求1所述的聲表面波作用力傳感器，其特征在于，所述的叉指換能器IDT(4)由相互交叉的指條電極組成。

4.根據權利要求1所述的聲表面波作用力傳感器，其特征在于，所述的反射柵(5)由致密排列的相連指條組成。

5.根據權利要求1所述的聲表面波作用力傳感器，其特征在于，所述的天線圖形(3)為環形相互交叉形式。

6.根據權利要求1所述的聲表面波作用力傳感器，其特征在于，所述的電極面(2)、天線圖形(3)和反射柵(5)均為對稱結構。