[發明專利]Cu-Ga合金濺射靶材有效
| 申請號： | 201610172665.X | 申請日： | 2016-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN106011755B | 公開（公告）日： | 2019-03-29 |
| 發明（設計）人： | 衛藤雅俊 | 申請（專利權）人： | JX金屬株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C22C9/00 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 聶寧樂 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | cu ga 合金 濺射 | ||
【說明書】：
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