[發明專利]一種用于電沉積平面件的裝置

在審

• 申請號: 201610170809.8
• 申請日: 2016-03-24
• 公開（公告）號: CN105648507A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 明平美;趙云龍;李慧娟;陳月濤;張艷華;李欣潮;楊文娟;秦歌
• 申請（專利權）人: 河南理工大學
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D21/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于電沉積平面件的裝置，包括外槽（6）、放置于外槽（6）內的電沉積槽（4）、陰極基底（2）和陽極（13），其特征在于：它還包括穩流板（7）和攪拌板（3）；所述的穩流板（7）上設有均勻分布的通孔B（10）；所述的電沉積槽（4）由穩流板（7）分隔為陰極槽區（1）和陽極槽區（11）；所述的陰極基底（2）和陽極（13）分別設置于陰極槽區（1）和陽極槽區（11）內，且所述的陰極基底（2）與所述的陽極（13）相互平行；所述的攪拌板（3）設置于陰極基底（2）與穩流板（7）之間，且與陰極基底（2）平行；所述的攪拌板（3）上設有均勻分布的通孔A（8）；所述的攪拌板（3）連接于外驅動源上，在豎直平面內作平動運動；所述的電沉積槽（4）的側板（15）和底板（17）上均設有橫截面形狀相同的凹槽（14）；所述的凹槽的底面（16）設有排液孔（5）；所述的陽極槽區（11）設有進液孔（9）；所述的外槽（6）上設有出液孔（12）。

2.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的攪拌板（3）的側面與凹槽（14）正對。

3.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的攪拌板（3）與陰極基底（2）之間的距離為2~5mm。

4.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的陰極基底（2）、陽極（13）和穩流板（7）的長度與電沉積槽（4）的槽深相等，所述的陰極基底（2）、陽極（13）和穩流板（7）的寬度與電沉積槽（4）的寬度相等。

5.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的排液孔（5）的圓心與陰極基底（2）之間的距離為2~5mm。

6.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的通孔A（8）的直徑為0.5~1mm、孔間距為2~4mm。

7.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的通孔B（10）的直徑為0.5~1mm、孔間距為2~4mm。

8.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的排液孔（5）的直徑為0.3~1mm、孔間距為4~10mm。

9.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的陽極（13）表面積是陰極基底（2）表面積的1.5~2倍。

10.根據權利要求1所述為一種用于電沉積平面件的裝置，其特征在于：所述的電沉積槽（4）、外槽（6）、穩流板（7）和攪拌板（3）分別為耐酸堿腐蝕的電絕緣非金屬電沉積槽、耐酸堿腐蝕的電絕緣非金屬外槽、耐酸堿腐蝕的電絕緣非金屬穩流板和耐酸堿腐蝕的電絕緣非金屬攪拌板。