[發(fā)明專利]一種鉭酸鎵鑭晶體的多線切割方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610166109.1 | 申請日： | 2016-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN105690585B | 公開（公告）日： | 2017-12-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 沈麗明 | 申請（專利權）人： | 沈麗明 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 南京蘇創(chuàng)專利代理事務所(普通合伙)32273 | 代理人： | 沈振濤 |
| 地址： | 210000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鉭酸鎵鑭 晶體 切割 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種鉭酸鎵鑭晶體的多線切割方法，其特征在于：尺寸為25mm×25mm×80mm 的LGT晶體的切割包括以下步驟：
將LGT晶體粘接到工作臺上，完成切割前的多線切割機的調(diào)試工作，設定切割的基本工藝參數(shù)：放線設定張力值為40N；收線設定張力值為40N；切割速度設定為600 m/min；補線速度為15m/min；切割高度為27 mm；進給速度為0.50mm/min；搖擺角度為5.0度；搖擺次數(shù)為15次/分；升降速度為110 mm/min；將工作臺慢慢下降至距離金剛石線平面1-2 mm的高度，啟動切削液泵，啟動搖擺，啟動工作臺，進行切割；切割時間為60分鐘；
將切割好的晶片放入pH10的堿液中加熱，使晶片與工作臺分離，再將晶片放入清水中，超聲清洗，烘干。
下載完整專利技術內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于沈麗明，未經(jīng)沈麗明許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610166109.1/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
