[發明專利]一種ITO靶材的背面金屬化方法有效
| 申請號： | 201610165106.6 | 申請日： | 2016-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN105779957B | 公開（公告）日： | 2018-12-28 |
| 發明（設計）人： | 莫斌;陸映東;武建良;黃誓成 | 申請（專利權）人： | 廣西晶聯光電材料有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 柳州市榮久專利商標事務所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韋微 |
| 地址： | 545036 廣西壯族自治區柳州市柳*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ito 背面 金屬化 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種ITO靶材的背面金屬化方法，其特征在于：包括以下步驟：
⑴將待金屬化的ITO靶材用去離子水洗凈并擦干；
⑵將步驟⑴靶材不需金屬化的表面用耐熱薄膜覆蓋；
⑶將步驟⑵靶材放置在常溫的加熱臺上，需金屬化的一面朝上；
⑷然后將加熱臺以不大于3度/分鐘的升溫速度升溫至200～230度，并恒溫在200～230度，使靶材待金屬化的一面溫度達到170～180度；
⑸工作臺恒溫在200～230度，將金屬銦放置在靶材待金屬化的一面，待其熔化后，用銅刷均勻地將金屬銦涂滿靶材待金屬化的一面，然后用超聲波涂銦機對已完全覆蓋靶材金屬化面的銦層再次涂抹2～4遍；
⑹用刮板將未粘附上的多余的銦料刮干凈；
⑺將加熱臺斷電，自然降溫至室溫，將完成金屬化的靶材取下加熱臺，然后去掉包覆的薄膜，即完成靶材金屬化；
步驟⑸中金屬銦的純度為99.9%以上；
步驟⑸中在靶材待金屬化的一面放置的金屬銦的使用量，按1m2靶材待金屬化面的面積使用80～250g金屬銦計算。
2.根據權利要求1所述的一種ITO靶材的背面金屬化方法，其特征在于：步驟⑵中所述的耐熱薄膜是鋁薄、錫薄或者能耐230度以上的高溫膠帶。
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