[發明專利]用于金屬熔絲應用的堆疊通道結構有效
| 申請號： | 201610161575.0 | 申請日： | 2012-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN105655324B | 公開（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發明（設計）人： | R.G.菲利皮;G.伯尼拉;K.錢達;S.格魯諾;N.E.魯斯蒂格;A.H.西蒙;王平川 | 申請（專利權）人： | 國際商業機器公司 |
| 主分類號： | H01L23/58 | 分類號： | H01L23/58 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 邱軍 |
| 地址： | 美國紐*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 金屬 應用 堆疊 通道 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于電檢測熔絲的電介質區域中的損害的方法，包括以下步驟：
在所述熔絲的負電壓連接件和鄰近導體的正電壓連接件之間施加電壓，由電介質區域將所述鄰近導體與所述熔絲物理地間隔；
測量所述鄰近導體的正電流連接件(I+)和所述熔絲的負電流連接件(I-)之間的電流；以及
檢測所述電介質區域中的損害，當所述正電流連接件(I+)和所述負電流連接件(I-)之間測得短路時，損害存在且已經擴展至所述電介質區域中；
其中所述熔絲的所述負電流連接件(I-)位于導體(111)和第一導電線(133)上，所述導體(111)位于所述熔絲下方，所述第一導電線(133)位于所述熔絲上方，并且所述鄰近導體的所述正電流連接件(I+)位于所述鄰近導體的第二導電線(143)上。
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