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[發(fā)明專利]液刀清潔裝置及液刀有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201610161409.0 申請日: 2016-03-21
公開(公告)號: CN105710056B 公開(公告)日: 2019-01-25
發(fā)明(設(shè)計)人: 姚亮;黃林;周偉;楊玉;林己燮;陳而論;袁晨;徐立銘;謝呈男 申請(專利權(quán))人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
主分類號: B08B1/00 分類號: B08B1/00;B08B3/02
代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 代理人: 許靜;黃燦
地址: 100015 *** 國省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 清潔 裝置
【說明書】:

發(fā)明提供了一種液刀清潔裝置及液刀,所述液刀清潔裝置包括:一用于設(shè)置在所述液刀上,并能夠沿所述刀口的延伸方向進行往復移動的架體;一用于伸入所述液刀的刀口內(nèi),并能夠在所述架體帶動下在所述刀口內(nèi)往復移動,以清潔所述刀口的清潔刮片,所述清潔刮片設(shè)置在所述架體上;以及,一用于使得所述架體在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往復移動的移動機構(gòu),所述架體與所述移動機構(gòu)連接。本發(fā)明所提供的液刀清潔裝置,可以代替以往的手動清潔,清潔液刀的刀口,可減少液簾分叉出現(xiàn)的概率,從而減少此類顯影MURA出現(xiàn)的概率,提高了設(shè)備的稼動,也避免不連續(xù)流片產(chǎn)生的其他問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種液刀清潔裝置及液刀。

背景技術(shù)

TFT-LCD(tin film transistor-liquid crystal display,薄膜晶體管液晶顯示器)中彩膜工廠主要目的是在玻璃基板上涂布不同顏色的光刻膠,經(jīng)曝光、顯影、后烘等工藝來制作不同顏色的圖形。彩膜工廠顯影工藝的目的是去除基板上未曝光的光刻膠,保留已曝光的光刻膠圖形,通過稀釋后的氫氧化鉀(KO)溶液沖洗曝光后的玻璃基板,再通過純凈水清洗,去除KO殘液。顯影設(shè)備顯影段和清洗段連接區(qū)域添加液刀裝置快速清除基板表面的KO殘留液體和顯影殘渣,減少清洗段過濾器(filter)阻塞。但是,液刀長時間不間斷生產(chǎn)經(jīng)常會出現(xiàn)水簾分叉現(xiàn)象,主要原因是顯影殘渣或其他異物掉入液刀的刀口阻礙了水流方向。液刀內(nèi)部殘留異物易形成的分叉液簾易造成顯影不良,產(chǎn)生顯影不良(Mura)等品質(zhì)不良。

為了解決上述問題,傳統(tǒng)做法為停機后手動清潔液簾,主要動作為將薄片塞入顯影機液刀的刀口內(nèi)部,按照一定的速度自動來回數(shù)次的清潔液刀的刀口內(nèi)部,按照一定的頻率定期清潔液刀內(nèi)部的殘留異物,確認清潔OK后復線。但是,這樣影響了設(shè)備稼動,并存在產(chǎn)品不良風險。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種液刀清潔裝置及液刀,該液刀清潔裝置可以代替以往的手動清潔,清潔液刀的刀口,可減少液簾分叉出現(xiàn)的概率,從而減少此類顯影MURA出現(xiàn)的概率,提高了設(shè)備的稼動。

本發(fā)明所提供的技術(shù)方案如下:

一種液刀清潔裝置,用于清潔液刀,所述液刀上具有刀口;所述液刀清潔裝置包括:

一用于設(shè)置在所述液刀上,并能夠沿所述刀口的延伸方向進行往復移動的架體;

一用于伸入所述液刀的刀口內(nèi),并能夠在所述架體帶動下在所述刀口內(nèi)往復移動,以清潔所述刀口的清潔刮片,所述清潔刮片設(shè)置在所述架體上;

以及,一用于使得所述架體在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往復移動的移動機構(gòu),所述架體與所述移動機構(gòu)連接。

進一步的,所述架體包括:

用于相對設(shè)置在所述液刀兩側(cè)的第一側(cè)架體和第二側(cè)架體;

以及,用于設(shè)置在所述液刀的刀口下方的底部架體,所述底部架體連接第一側(cè)架體和第二側(cè)架體;

其中所述清潔刮片設(shè)置在所述底部架體上。

進一步的,所述液刀清潔裝置還包括一用于對所述清潔刮片的伸入至所述刀口內(nèi)的第一高度進行調(diào)整的調(diào)整結(jié)構(gòu)。

進一步的,所述調(diào)整結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在所述架體上的一卷軸;

所述清潔刮片為軟質(zhì)刮片,其一端朝向所述液刀的刀口伸出,另一端卷設(shè)在所述卷軸上,其中所述卷軸轉(zhuǎn)動,能夠收放所述軟質(zhì)刮片,以調(diào)整所述清潔刮片的伸入至所述刀口內(nèi)的第一高度。

進一步的,所述液刀上設(shè)置有沿所述刀口的延伸方向設(shè)置的導軌;

所述移動機構(gòu)包括:

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