[發(fā)明專利]一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610158348.2 | 申請日: | 2016-03-17 |
| 公開(公告)號: | CN105777107A | 公開(公告)日: | 2016-07-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 謝遜;孫景峰 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇新浦電子科技有限公司 |
| 主分類號: | C04B35/457 | 分類號: | C04B35/457;C04B35/622 |
| 代理公司: | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美華 |
| 地址: | 213300 江蘇省常州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 利用 磁控濺射 方法 制備 導(dǎo)電 玻璃 陶瓷 | ||
1.一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材,其特征在于:所述靶材 配方包括:SnO291~98wt.%,Sb2O30.1~6.0wt.%,Bi2WO30.01~2wt.%,LaMnO30.1~ 4wt.%,ZnO0.01~1.8wt.%,其中:Bi2WO3、LaMnO3分別是采用常規(guī)的化學(xué)原料 以固相法合成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材, 其特征在于:所述陶瓷靶材中的LaMnO3的制備過程包括:將常規(guī)的化學(xué)原料La2O3、 MnO2按1/2:1摩爾比配料,研磨混合均勻后放入氧化鋁坩堝內(nèi)于900~950℃保 溫120分鐘,固相反應(yīng)合成LaMnO3,冷卻后研磨過200目篩,備用。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材, 其特征在于:所述陶瓷靶材中的Bi2WO3的制備過程包括:將常規(guī)的化學(xué)原料Bi2O3和WO3按1:1摩爾比配料,研磨混合均勻后放入氧化鋁坩堝內(nèi)于850℃左右保溫 120分鐘,冷卻后得到Bi2WO3,研磨過200目篩,備用。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材, 其特征在于:所述陶瓷靶材配方中包括:Bi2WO3和LaMnO3。
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