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[發(fā)明專利]一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201610158348.2 申請日: 2016-03-17
公開(公告)號: CN105777107A 公開(公告)日: 2016-07-20
發(fā)明(設(shè)計)人: 謝遜;孫景峰 申請(專利權(quán))人: 江蘇新浦電子科技有限公司
主分類號: C04B35/457 分類號: C04B35/457;C04B35/622
代理公司: 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32258 代理人: 王美華
地址: 213300 江蘇省常州*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 利用 磁控濺射 方法 制備 導(dǎo)電 玻璃 陶瓷
【權(quán)利要求書】:

1.一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材,其特征在于:所述靶材 配方包括:SnO291~98wt.%,Sb2O30.1~6.0wt.%,Bi2WO30.01~2wt.%,LaMnO30.1~ 4wt.%,ZnO0.01~1.8wt.%,其中:Bi2WO3、LaMnO3分別是采用常規(guī)的化學(xué)原料 以固相法合成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材, 其特征在于:所述陶瓷靶材中的LaMnO3的制備過程包括:將常規(guī)的化學(xué)原料La2O3、 MnO2按1/2:1摩爾比配料,研磨混合均勻后放入氧化鋁坩堝內(nèi)于900~950℃保 溫120分鐘,固相反應(yīng)合成LaMnO3,冷卻后研磨過200目篩,備用。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材, 其特征在于:所述陶瓷靶材中的Bi2WO3的制備過程包括:將常規(guī)的化學(xué)原料Bi2O3和WO3按1:1摩爾比配料,研磨混合均勻后放入氧化鋁坩堝內(nèi)于850℃左右保溫 120分鐘,冷卻后得到Bi2WO3,研磨過200目篩,備用。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種利用磁控濺射方法制備導(dǎo)電玻璃用陶瓷靶材, 其特征在于:所述陶瓷靶材配方中包括:Bi2WO3和LaMnO3

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