[發明專利]Fe-Al型合金濺射靶在審
| 申請號： | 201610157434.1 | 申請日： | 2012-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN105671498A | 公開（公告）日： | 2016-06-15 |
| 發明（設計）人： | 原田健太郎 | 申請（專利權）人： | 吉坤日礦日石金屬株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/35;H01F41/18;C22C38/06 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | fe al 合金 濺射 | ||
【權利要求書】：
1.一種Fe-Al合金濺射靶，其特征在于，Al含量為1～23原子％， 氧含量為100重量ppm以下，其余為Fe和不可避免的雜質。
2.如權利要求1所述的Fe-Al合金濺射靶，其特征在于，氧含量 為70重量ppm以下。
3.如權利要求1所述的Fe-Al合金濺射靶，其特征在于，氧含量 為50重量ppm以下。
4.如權利要求1～3中任一項所述的Fe-Al合金濺射靶，其特征在 于，濺射時的粉粒數為35個以下。
5.如權利要求1～3中任一項所述的Fe-Al合金濺射靶，其特征在 于，濺射時的粉粒數為20個以下。
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