[發明專利]離子束裝置、離子注入裝置、離子束放出方法有效
| 申請號： | 201610155289.3 | 申請日： | 2016-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN105990076B | 公開（公告）日： | 2019-08-30 |
| 發明（設計）人： | 佐佐木德康;東明男 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | H01J27/02 | 分類號： | H01J27/02;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 閆小龍;陳嵐 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子束 裝置 離子 注入 放出 方法 | ||
【權利要求書】：
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