[發明專利]激光處理方法、柔性產品的制造方法和顯示裝置

在審

• 申請號: 201610154511.8
• 申請日: 2016-03-17
• 公開（公告）號: CN105665941A
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 任慶榮;郭煒
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/36;B23K26/60
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種激光處理方法，其特征在于，包括:

在待處理部件的正面或背面沉積一層激光防護膜；

剝離第一區域的所述激光防護膜，保留欲保護器件或功能膜層對應區域的 所述激光防護膜，所述第一區域至少包括欲進行激光處理的區域；

以所述激光防護膜為掩膜，進行激光處理工藝。

2.根據權利要求1所述的激光處理方法，其特征在于，利用光刻工藝，剝 離第一區域的所述激光防護膜，保留欲保護器件或功能膜層對應區域的所述激 光防護膜。

3.根據權利要求2所述的激光處理方法，其特征在于，所述光刻工藝包括 涂覆光刻膠、曝光和刻蝕工序。

4.根據權利要求1所述的激光處理方法，其特征在于，所述激光防護膜為 能夠吸收激光輻射的薄膜。

5.根據權利要求4所述的激光處理方法，其特征在于，所述激光防護膜包 括下述任意一種材質的薄膜或者下述多種材質的復合薄膜：

N型硅、P型硅、氧化銦錫、銦鎵鋅氧化物、銦錫鋅氧化物。

6.根據權利要求1所述的激光處理方法，其特征在于，所述激光處理工藝 包括：激光切割工藝，和/或，激光剝離工藝。

7.一種激光處理方法，其特征在于，包括:在掩膜板遮擋下進行激光處理工 藝；

所述掩膜板的遮擋部分設置有激光防護膜，對應欲保護器件或功能膜層對 應區域；所述掩膜板的透光部分對應欲進行激光處理的區域。

8.一種柔性產品的制造方法，其特征在于，采用了權利要求1-6任一項所述 的激光處理方法，或者采用了權利要求7所述的激光處理方法。

9.一種顯示裝置，其特征在于，制作過程采用了權利要求1-6任一項所述的 激光處理方法，或者采用了權利要求7所述的激光處理方法。