[發明專利]濕法制程設備及其維護方法

有效

• 申請號: 201610154202.0
• 申請日: 2016-03-17
• 公開（公告）號: CN105589233B
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發明（設計）人: 刑磊;馬海買提
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

本發明提供一種濕法制程設備及其維護方法，所述濕法制程設備包括：設備本體、設于設備本體內的兩行N列陣列排布的共2×N個反應腔、設于兩行反應腔之間的設備本體上的滑動框；每一反應腔的上表面均設有開口，對應所述開口設有覆蓋所述開口的磁性蓋板；所述滑動框的底邊設于所述設備本體的上表面上，所述底邊上設有多個相互平行的滑槽；將所述磁性蓋板放置在滑槽內，并用頂邊吸附住所述磁性蓋板的邊緣，進而所述磁性蓋板能夠沿所述滑槽滑動，通過將所述磁性蓋板滑動至非工作區，能夠避免磁性蓋板占用工作區的空間，便于工作人員對設備進行維護，同時提升工作區的安全系數，避免維護人員受傷。

技術領域

本發明涉及液晶顯示面板生產制造技術領域，尤其涉及一種濕法制程設備及其維護方法。

背景技術

隨著顯示技術的發展，液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)與有機發光二極管顯示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平面顯示裝置因具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優點，而被廣泛的應用于手機、電視、個人數字助理、數字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產品，成為顯示裝置中的主流。

現有市場上的液晶顯示器大部分為背光型液晶顯示器，其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。液晶顯示面板的工作原理是在薄膜晶體管陣列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)與彩色濾光片基板(ColorFilter，CF)之間灌入液晶分子，并在兩片基板上施加驅動電壓來控制液晶分子的旋轉方向，以將背光模組的光線折射出來產生畫面。

液晶顯示面板的制程可劃分為三個階段：第一階段為陣列制程(Array)，即把薄膜晶體管制作在玻璃基板上；第二階段為組合制程(Cell)，即把彩色濾光基板與薄膜晶體管基板對組，并在中間灌入液晶分子；第三階段為模組制程(LCM)，即在組合后的面板背后加上背光組件及外接集成電路板，完成液晶顯示面板的制作。在Array制程中，需要先在玻璃基板的表面形成金屬薄膜層，并在金屬薄膜層上涂布光阻層，在曝光(Exposure)制程將玻璃基板套上具有特定圖案的光罩后對玻璃基板進行曝光，在顯影(Developer)制程利用顯影液去除被光照射到的光阻(正性光阻)或未被光照射到的光阻(負性光阻)，在蝕刻(Etching)制程蝕刻未被光阻覆蓋的金屬薄膜，最后去除剩余的光阻層，使光罩上的薄膜晶體管的電路圖案形成在玻璃基板上。

目前在液晶面板生產中，顯影制程等濕法制程所使用的濕法制程設備的反應腔的蓋板大多采用亞克力板(Acrylic)材料。請參考圖1，其為一種現有的濕法制程設備的結構圖，其蓋板的設計為四邊固定形式，這種濕法制程設備在清潔和維護的過程中，通常需要將蓋板四邊的固定拆卸下來，然后用軟棉布沾肥皂水進行擦洗、清潔，維護工作繁瑣，容易造成二次污染，同時這種濕法制程設備的蓋板在安裝時容易混淆位置，且表面和角邊易劃傷。

請參考圖2，其為另一種現有的濕法制程設備的結構圖，其蓋板的設計為懸掛式，這種濕法制程設備在蓋板頂部設有具有掛鉤的橫梁，并且在蓋板的相對位置上設有掛鉤，該濕法制程設備在清潔和維護的過程中，可將蓋板懸掛在橫梁之上，維護人員進入反應腔內進行清潔和維護。由于結構較復雜，該顯影單元的成本相對較高，且蓋板懸掛在維護人員所在的工作區，占用工作空間的同時容易對人員造成傷害。

發明內容

本發明的目的在于提供一種濕法制程設備，該濕法制程設備維護方便，

安全性高，使用壽命長，生產成本低。

本發明的另一目的在于提供一種濕法制程設備的維護方法，能夠安全方便的對濕法制程設備的反應腔進行清潔和維護，提高生產效率。

為實現上述目的，本發明提供一種濕法制程設備，設N為大于1的正整數，所述濕法制程設備包括：設備本體、設于設備本體內的兩行N列陣列排布的共2×N個反應腔、及設于兩行反應腔之間的設備本體上的滑動框；