[發(fā)明專利]真空管道

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610153969.1
• 申請(qǐng)日: 2016-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN105673972B
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何超峰;丁先庚;王輝;劉彥武;郁歡強(qiáng);董相文;孫興中;戴建彪;張海峰;卞榮耀;李陽(yáng);陳耀鋒;張俊峰;武義鋒;章學(xué)華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽萬(wàn)瑞冷電科技有限公司;哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): F16L39/04
• 分類號(hào): F16L39/04;F16L27/11
• 代理公司: 北京酷愛智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11514
• 代理人: 馬麗娜

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空管道。

背景技術(shù)

隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，大型真空系統(tǒng)在各行業(yè)的應(yīng)用越來越多，例如各種粒子加速器的研制、核物理基礎(chǔ)與應(yīng)用研究、航空航天環(huán)境模擬器、半導(dǎo)體工業(yè)、醫(yī)藥衛(wèi)生、環(huán)境保護(hù)、新材料研究等方面均需要真空環(huán)境。常用的真空系統(tǒng)包括真空腔體、真空管道和真空泵，其中真空泵主要用于抽取真空腔體內(nèi)的氣體，真空管道主要用于連接真空腔體和真空泵。

目前，真空管道主要有兩種結(jié)構(gòu)：一種為直管，如北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司于2013年4月8日申請(qǐng)的發(fā)明專利《真空抽氣裝置和刻蝕設(shè)備》(申請(qǐng)?zhí)枺?01310118631.9；公開號(hào)：104103550A)中公開了一種抽氣裝置，包括真空抽氣腔、分子泵和用于連通真空抽氣腔和分子泵的過渡通道，其中過渡通道為筒狀結(jié)構(gòu)，這里所說的過渡通道就屬于直管類的真空管道。直管具有一定的剛性，其依靠自身的剛性能夠避免真空泵或者真空腔體被拖動(dòng)，但同時(shí)剛性的直管也會(huì)將真空泵的振動(dòng)傳遞給真空腔體。

還有一種為波紋管，波紋管具有的柔性可以有效的隔離真空泵的振動(dòng)，但是由于在抽真空的過程中，真空管道在軸線方向上要承受很大壓力，大概有1kg/cm2，這樣就會(huì)導(dǎo)致波紋管會(huì)在抽真空時(shí)的軸向壓力作用下產(chǎn)生軸向形變，如果沒有采用必要措施，必將帶動(dòng)真空泵或真空腔體發(fā)生位移。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種真空管道，有效隔振的同時(shí)避免真空泵或真空腔體被拖動(dòng)。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種真空管道，包括第一管體、第二管體以及波紋管，所述的波紋管設(shè)置有三個(gè)，氣體經(jīng)過第一管體分流至波紋管中，流過波紋管的氣體再經(jīng)過第二管體匯流至一起，第一管體和第二管體為剛性材料制成，真空管道的進(jìn)、出氣口同心布置，波紋管的管長(zhǎng)方向垂直于進(jìn)氣口的軸心方向且三個(gè)波紋管關(guān)于該軸心對(duì)稱布置；三個(gè)波紋管的軸心位于同一平面內(nèi)且相互夾角為120度，三個(gè)波紋管位于內(nèi)側(cè)的一端通過第一管體連接在一起，三個(gè)波紋管的另一端通過第二管體連接在一起。

本發(fā)明采用的另一技術(shù)方案為：一種真空管道，包括第一管體、第二管體以及波紋管，所述的波紋管設(shè)置N個(gè)，N為大于等于4的整數(shù)，氣體經(jīng)過第一管體分流至波紋管中，流過波紋管的氣體再經(jīng)過第二管體匯流至一起，第一管體和第二管體為剛性材料制成，真空管道的進(jìn)、出氣口同心布置，波紋管的管長(zhǎng)方向垂直于進(jìn)氣口的軸心方向且N個(gè)波紋管關(guān)于該軸心對(duì)稱布置；N個(gè)波紋管的軸心位于同一平面內(nèi)且相互夾角為360/N度，N個(gè)波紋管位于內(nèi)側(cè)的一端通過第一管體連接在一起，N個(gè)波紋管的另一端通過第二管體連接在一起。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明存在以下技術(shù)效果：由于波紋管關(guān)于進(jìn)氣口的軸心對(duì)稱布置且與軸心垂直，這樣各波紋管的拉伸和壓縮變形被互相抵消，而第一、二管體是剛性的，這樣抽氣時(shí)真空泵和真空腔體之間就不會(huì)發(fā)生位移；同時(shí)，由于這里設(shè)置了波紋管，這樣真空泵的振動(dòng)也不會(huì)傳遞給真空腔體，起到很好的隔振效果。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例一的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的正視圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例二的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是圖3的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合圖1至圖4，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)敘述。