[發明專利]一種基板傳送裝置及顯示器生產設備有效
| 申請號: | 201610153784.0 | 申請日: | 2016-03-17 |
| 公開(公告)號: | CN105655276B | 公開(公告)日: | 2018-01-19 |
| 發明(設計)人: | 石鵬程;元敏;劉瀏 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;G02F1/13 |
| 代理公司: | 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291 | 代理人: | 黃志華 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 傳送 裝置 顯示器 生產 設備 | ||
技術領域
本申請涉及顯示技術領域,特別涉及一種基板傳送裝置及顯示器生產設備。
背景技術
在當前顯示制造領域,為實現在基板表面鍍上不同膜層,需要基板在各個生產線傳送以完成不同工序。而目前基板的主要傳送方式為:基板置于滾輪(Roller)之上,滾輪安裝在傳送桿的固定位置,動力系統帶動傳送桿轉動,傳送桿帶動固定其上的滾輪轉動,通過滾輪的轉動帶動基板向前傳送,從而實現基板的傳送。
然而,上述的基板傳送方式中,由于滾輪位置固定,并且,所有滾輪都與基板接觸并參與基板的傳送,同時,由于不同型號的產品要求基板上的顯示區域分布不同,這樣,就會不可避免的導致在一些基板的傳送過程中,滾輪與基板的顯示區域接觸,而在基板的傳送過程中,滾輪與基板的顯示區域的接觸會導致顯示區域出現各種顯示不良,例如:劃傷、顯影不良、線性Mura等等,從而影響最終的產品的品質。
發明內容
本申請實施例提供了一種基板傳送裝置及顯示器生產設備,用以避免由于基板的顯示區域與滾輪接觸而導致顯示區域出現各種顯示不良,從而提高產品的品質。
本申請實施例提供的一種基板傳送裝置,包括:供氣系統、多根傳送桿、以及安裝在每一所述傳送桿上的多個滾輪;其中,每一所述滾輪為可充氣式滾輪;所述供氣系統用于為與基板的非顯示區域相對的滾輪充氣,使得與基板的非顯示區域相對的滾輪能夠接觸并傳送所述基板。
通過該裝置,在基板傳送過程中,只有與基板的非顯示區域相對的滾輪才與基板接觸并參與基板的傳送,因此,可以避免由于基板的顯示區域與滾輪接觸而導致顯示區域出現各種顯示不良,從而提高產品的品質。
可選的,所述供氣系統包括:主供氣管道、支供氣管道、閥門和閥門控制單元;
其中,所述支供氣管道與所述滾輪一一對應,每一所述支供氣管道上設置一所述閥門,每一所述支供氣管道的一端與所述主供氣管道相連通,另一端通過設置在該支供氣管道上的閥門與一所述滾輪相連,所述閥門控制單元用于控制每一所述閥門的開啟與關閉,當任一所述閥門開啟時,所述主供氣管道通過該閥門所在的支供氣管道為該閥門所在的支供氣管道連接的滾輪充氣。
可選的,所述閥門控制單元具體用于:
根據基板上的顯示區域位置,及預先存儲的每一所述滾輪相對于所述基板傳送裝置的位置坐標,控制與所述顯示區域相對的滾輪對應的閥門關閉,以及與該基板的非顯示區域相對的滾輪對應的閥門開啟。
可選的,每一所述閥門通過電線與所述閥門控制單元電連接。
可選的,所述傳送桿為中空管,所述供氣系統的主供氣管道、支供氣管道、閥門安裝在所述傳送桿中,所述電線穿過所述傳送桿連接所述閥門和所述閥門控制單元。
通過將供氣系統的主供氣管道、支供氣管道、閥門安裝在傳送桿中,可以節約空間,減小基板傳送裝置的體積。
可選的,每一所述傳送桿包括一根中空內管和多根中空外管,其中,對于每一傳送桿,該傳送桿的中空內管貫穿該傳送桿上的所有滾輪,相鄰的兩個滾輪之間設置一根所述中空外管,所述中空內管與貫穿在該中空內管上的滾輪固定連接,每一所述中空外管與所述中空內管通過垂直于所述中空外管的內壁和所述中空內管的外壁的至少一根連接桿固定連接,并且,每一所述中空外管的至少一端與一所述滾輪的外壁相接觸。
可選的,每一所述中空外管的一端與一所述滾輪的外壁相接觸,另一端與另一所述滾輪的外壁相接觸。
可選的,每一所述傳送桿的一端與該傳送桿上的第一個滾輪之間設置一根所述中空外管,另一端與該傳送桿上的最后一個滾輪之間設置另一根所述中空外管。
通過在相鄰的兩個滾輪之間設置一根中空外管,及每一傳送桿的一端與該傳送桿上的第一個滾輪之間設置一根中空外管,另一端與該傳送桿上的最后一個滾輪之間也設置一根中空外管,且中空外管與中空內管通過垂直于中空外管的內壁和中空內管的外壁的連接桿固定連接,可以避免滾輪在基板傳送過程中沿傳送方向發生晃動,從而影響產品的品質。
可選的,每一所述傳送桿上安裝的滾輪的數量相同。
可選的,每一所述傳送桿上安裝的滾輪的相對位置相同。
本申請實施例提供的一種顯示器生產設備,包括本申請實施例提供的上述的基板傳送裝置。
由于本申請實施例提供的顯示器生產設備,采用上述的基板傳送裝置,在基板傳送過程中,只有與基板的非顯示區域相對的滾輪才與基板接觸并參與基板的傳送,因此,可以避免由于基板的顯示區域與滾輪接觸而導致顯示區域出現各種顯示不良,從而提高產品的品質。
附圖說明
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





