[發明專利]一種單晶爐的爐蓋

在審

• 申請號: 201610151794.0
• 申請日: 2016-03-16
• 公開（公告）號: CN105671643A
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 潘清躍;王平
• 申請（專利權）人: 江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明專利涉及單晶爐技術領域，特別是一種單晶爐的爐蓋。

背景技術

單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程中的必備設備，而單晶硅又是光伏 發電和半導體行業中的基礎原料。單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料， 是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要 功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。單晶硅需要在高壓的環 境下進行制備，但是當單晶爐內的壓力過大后很容易造成自身結構的損壞，所 以設計一種具有壓力保護功能的單晶爐爐蓋就顯得尤為重要。

發明內容

本發明的目的就是通過過流閥來對單晶爐起到自我保護的功能，防止單晶 爐內氣體壓強過大而造成自身結構的損壞；發明了一種單晶爐的爐蓋。

為解決上述的技術問題，本發明提供了一種單晶爐的爐蓋，包括

爐蓋主體，所述的爐蓋主體呈向上凸的弧形，所述的爐蓋主體內設置有空 心腔體，所述的爐蓋主體下端的兩側設置有連接座，所述的爐蓋主體通過兩側 的連接座安裝在爐體的上沿處，

過流閥，所述的爐蓋主體的弧形內壁上開設有過流通道，所述的過流通道 與空心腔體相連通，所述的過流閥安裝在過流通道內，

出氣管，所述的出氣管穿過爐蓋主體的上側壁與空心腔體相連通，

氣體處理裝置，所述的氣體處理裝置安裝在出氣管的出氣口處，

定位機構，所述的定位機構設置在連接座與爐體的上沿之間。

進一步：所述的過流閥包括閥筒、閥蓋、彈簧和閥芯，所述的閥筒位于過 流通道內，所述的閥蓋連接在閥筒的上端，所述的閥芯活動連接在閥筒內，所 述的閥芯通過彈簧與閥蓋相連，所述的閥筒的側壁上開設有溢流通道，所述的 閥蓋上相對于溢流通道的位置設置有溢流孔，所述的溢流通道通過溢流孔與過 流通道相連通。

進一步：所述的氣體處理裝置為氣體采集袋。

又進一步：所述的定位機構包括開設在連接座底部的導向槽、開設在爐體 上沿表面的半圓形卡槽、球形卡頭和彈簧，所述的球形卡頭通過彈簧連接在導 向槽內，當導向槽正對半圓形卡槽時，球形卡頭在彈簧的作用下會卡入半圓形 卡槽內。

采用上述結構后本發明通過過流閥來對單晶爐起到自我保護的功能，防止 單晶爐內氣體壓強過大而造成自身結構的損壞；并且本設計還具有結構簡單、 易于制造和實用高效的優點。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明。

圖1為本發明的結構示意圖。

圖2為過流閥的結構示意圖。

圖3為圖1中A的放大圖。

具體實施方式

如圖1所示的一種單晶爐的爐蓋，包括爐蓋主體1、過流閥4、出氣管6、 氣體處理裝置7和定位機構，所述的爐蓋主體1呈向上凸的弧形，所述的爐蓋 主體1內設置有空心腔體2，所述的爐蓋主體1下端的兩側設置有連接座3，所 述的爐蓋主體1通過兩側的連接座3安裝在爐體的上沿處，所述的爐蓋主體1 的弧形內壁上開設有過流通道5，所述的過流通道5與空心腔體2相連通，所述 的過流閥安裝在過流通道5內，所述的出氣管6穿過爐蓋主體1的上側壁與空 心腔體2相連通，所述的氣體處理裝置7安裝在出氣管6的出氣口處，所述的 定位機構設置在連接座3與爐體的上沿之間，所述的氣體處理裝置7為氣體采 集袋。工作時，把爐蓋主體1放置在爐體的上沿處，然后旋轉爐蓋主體1利用 定位機構進行定位，然后通過兩側的連接座3對爐蓋主體1和爐體進行固定， 當單晶爐內的壓強過大時，過流閥4會自行啟動降低單晶爐內的氣壓，防止單 晶爐受到過大的壓力而造成自身結構的損壞。