[發明專利]圓筒形濺射靶有效
| 申請號： | 201610150557.2 | 申請日： | 2016-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN105986232B | 公開（公告）日： | 2019-03-26 |
| 發明（設計）人： | 鶴田好孝 | 申請（專利權）人： | JX金屬株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;許偉群 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圓筒 濺射 | ||
【說明書】：
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