[發明專利]導熱裝置與蒸鍍坩堝

有效

• 申請號: 201610150210.8
• 申請日: 2016-03-16
• 公開（公告）號: CN105603364B
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 劉揚;劉亞偉
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

本發明提供一種導熱裝置與蒸鍍坩堝，所述導熱裝置包括一導熱筒與安裝于該導熱筒上的數個導熱片而呈輻射狀，或包括一輻射狀的導熱筒而呈輻射狀，通過在蒸鍍坩堝中放入上述導熱裝置，經由導熱裝置的傳熱路徑，可以使坩堝壁上的熱量均勻的傳遞至坩堝的內部及中心，有利于提高坩堝內部材料受熱的均勻性，使得材料的蒸鍍狀態保持穩定，提高蒸鍍效果；且該導熱裝置易加工，成本低，導熱效果好，安裝拆卸方便。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種導熱裝置與蒸鍍坩堝。

背景技術

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)顯示器，也稱為有機電致發光顯示器，是一種新興的平板顯示裝置，由于其具有制備工藝簡單、成本低、功耗低、發光亮度高、工作溫度適應范圍廣、體積輕薄、響應速度快，而且易于實現彩色顯示和大屏幕顯示、易于實現和集成電路驅動器相匹配、易于實現柔性顯示等優點，因而具有廣闊的應用前景。目前實現量產的OLED制造技術均是采用真空蒸鍍的方法制備OLED材料薄膜。

真空蒸鍍時，將OLED材料放置于坩堝中，通過加熱將材料汽化，汽化分子從坩堝蓋的噴口飛出沉積到基板上形成固態薄膜。OLED材料一般分為升華型和熔融型，升華型材料受熱后直接從固體粉末態升華變為氣態，熔融型材料受熱后先從固體粉末態變為熔融態，再蒸發變為氣態。不論是升華型還是熔融型，OLED有機材料的導熱性通常都很差，再加上處于真空狀態，沒有氣體分子作為導熱介質，熱量由坩堝壁傳輸到坩堝中部通常都很慢，這就在坩堝中造成較大的溫度差，即坩堝內部溫度場不均勻。

對于升華型材料，溫度場不均勻容易造成如圖1所示的情形：接近坩堝壁100的材料200所處的溫度高，升華快，遠離坩堝壁100的材料200所處的溫度低，升華慢，升華一定時間后材料200與坩堝壁100之間形成空隙300，空隙300形成后，材料200需要加熱到更高的溫度才可以達到升華的速率，這對OLED的性能是不利的。

對于熔融型材料，溫度場不均勻容易造成如圖2所示的情形：接近坩堝壁100的材料200先達到熔融所需溫度，變為熔融態，遠離坩堝壁100的材料200還處于固體粉末態，熔融態的材料200由于有一定的流動性，將粉末態的材料200包裹在其中，使得材料200整體處于“半熔融態”，半熔融態的材料200被蒸鍍到基板上其成膜均勻性不好，對OLED性能不利。

發明內容

本發明的目的在于提供一種導熱裝置，放置于蒸鍍坩堝內部使用，可以將坩堝壁上的熱量均勻的傳導至坩堝的內部及中心，使得坩堝內部的材料受熱均勻。

本發明的目的還在于提供一種蒸鍍坩堝，可以使坩堝壁上的熱量均勻的傳遞至坩堝的內部及中心，提高坩堝內部材料受熱的均勻性。

為實現上述目的，本發明提供一種導熱裝置，包括一導熱筒與安裝于該導熱筒上的數個導熱片，其中，所述導熱筒的側壁與導熱片上均設有數個通孔。

所述導熱筒的側壁上設有位于數個通孔之間的數個條形凹槽，所述數個條形凹槽的延伸方向均平行于所述導熱筒的延伸方向，所述數個導熱片分別卡合于該數個條形凹槽中。

所述導熱筒的橫截面為圓形或軸向對稱的凸多邊形。

所述導熱筒與導熱片的材質為金屬。

本發明還提供一種導熱裝置，包括一導熱筒，所述導熱筒的橫截面為具有三個角以上的星形，該星形的每個角均由兩個導熱板圍成，從而所述導熱筒由6個以上相互連接的導熱板組成，其中，每個導熱板上均設有數個通孔。

本發明還提供一種蒸鍍坩堝，包括坩堝本體、放置于坩堝本體內部的導熱裝置、及設于所述坩堝本體上方的坩堝蓋，所述導熱裝置包括一導熱筒與安裝于該導熱筒上的數個導熱片，其中，所述導熱筒的側壁與導熱片上均設有數個通孔。