[發明專利]襯底剝離裝置及襯底剝離方法在審
| 申請號： | 201610149839.0 | 申請日： | 2016-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN106028650A | 公開（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發明（設計）人： | 菊地浩之;高瀨真治;升芳明 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | H05K3/00 | 分類號： | H05K3/00;H01L21/77;H01L27/32;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 楊宏軍 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 剝離 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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