[發(fā)明專利]一種基于同步移相偏振干涉技術(shù)面型偏差檢測方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610148874.0 | 申請日： | 2016-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN105806216A | 公開（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王敏;郭王凱;黃德煒;邵曉萍 | 申請（專利權(quán)）人： | 福建師范大學(xué) |
| 主分類號： | G01B9/02 | 分類號： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 福州元創(chuàng)專利商標(biāo)代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡學(xué)俊 |
| 地址： | 350117 福建省福*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 同步 偏振 干涉 技術(shù) 偏差 檢測 方法 | ||
【說明書】：
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