[發(fā)明專利]PI液涂布方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610143237.4
• 申請(qǐng)日: 2016-03-14
• 公開（公告）號(hào): CN105607349B
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱美娜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1337
• 分類號(hào): G02F1/1337
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種PI液涂布方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、提供一基板(100)、一超紫外光源(200)、一第一光罩(300)、一第二光罩(400)、及一傳送機(jī)臺(tái)(500)；

所述第一光罩(300)的長(zhǎng)度等于基板(100)的寬度；

所述第一光罩(300)包括：一第一透光區(qū)(320)、及分別位于第一透光區(qū)(320)的兩端沿所述第一光罩(300)的寬度方向延伸的兩條狀的第一遮光區(qū)(310)；

所述第二光罩(400)的長(zhǎng)度等于基板(100)的長(zhǎng)度；

所述第二光罩(400)包括：第二透光區(qū)(420)、及分別位于第二透光區(qū)(420)的兩端沿所述第二光罩(400)的寬度方向延伸的兩條狀的第二遮光區(qū)(410)；

步驟2、將第一光罩(300)設(shè)置于超紫外光源(200)下，將基板(100)放置在傳送機(jī)臺(tái)(500)上，使基板(100)的一條寬邊與第一光罩(300)的一條長(zhǎng)邊對(duì)齊，傳送機(jī)臺(tái)(500)開始傳送基板(100)，超紫外光源(200)經(jīng)過第一光罩(300)對(duì)基板(100)進(jìn)行照射，直至基板(100)的另一條寬邊與第一光罩(300)的另一條長(zhǎng)邊對(duì)齊為止；

步驟3、將第二光罩(400)設(shè)置于超紫外光源(200)下，將基板(100)旋轉(zhuǎn)90°后再放置在傳送機(jī)臺(tái)(500)上，使基板(100)的一條長(zhǎng)邊與第二光罩(400)的一條長(zhǎng)邊對(duì)齊，傳送機(jī)臺(tái)(500)開始傳送基板(100)，超紫外光源(200)經(jīng)過第二光罩(400)對(duì)基板(100)進(jìn)行照射，直至基板(100)的另一條長(zhǎng)邊與第二光罩(400)的另一條長(zhǎng)邊對(duì)齊為止，從而在基板(100)上形成有機(jī)物濃度不同的第一區(qū)域(110)和第二區(qū)域(120)，所述第一區(qū)域(110)為位于所述基板(100)邊緣的經(jīng)過一次和沒有經(jīng)過超紫外光照射的區(qū)域，所述第二區(qū)域(120)為位于所述基板(100)中央的經(jīng)過兩次超紫外光照射的區(qū)域，所述第一區(qū)域(110)包圍所述第二區(qū)域(120)，所述第一區(qū)域(110)的有機(jī)物濃度大于所述第二區(qū)域(120)的有機(jī)物濃度；

步驟4、將PI液涂布在基板(100)的第二區(qū)域(120)。

2.如權(quán)利要求1所述的PI液涂布方法，其特征在于，所述步驟1中的基板(100)在前一制程中經(jīng)過濕式清洗。

3.如權(quán)利要求1所述的PI液涂布方法，其特征在于，所述步驟1中的基板(100)為薄膜晶體管陣列基板。

4.如權(quán)利要求1所述的PI液涂布方法，其特征在于，所述步驟1中的基板(100)為彩色薄膜濾光基板。

5.如權(quán)利要求3或4所述的PI液涂布方法，其特征在于，所述步驟1中的基板(100)為玻璃基板。

6.如權(quán)利要求1所述的PI液涂布方法，其特征在于，所述第一區(qū)域(110)為所述基板(100)涂布框膠的區(qū)域，其寬度等于框膠的寬度。

7.如權(quán)利要求1所述的PI液涂布方法，其特征在于，所述步驟3中基板(100)旋轉(zhuǎn)的方向?yàn)轫槙r(shí)針。

8.如權(quán)利要求1所述的PI液涂布方法，其特征在于，所述步驟3中基板(100)旋轉(zhuǎn)的方向?yàn)槟鏁r(shí)針。

9.如權(quán)利要求1所述的PI液涂布方法，其特征在于，所述步驟2與步驟3中傳送機(jī)臺(tái)(500)勻速傳送基板(100)。