[發明專利]多晶硅鑄錠爐熱循環系統

在審

• 申請號: 201610142652.8
• 申請日: 2016-03-14
• 公開（公告）號: CN105603516A
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 蔣興賢
• 申請（專利權）人: 常州兆晶光能有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶硅鑄錠爐熱循環系統，所述鑄錠爐包括：爐體，所述爐體 上設置有抽氣孔，所述爐體內設置有保溫護罩，所述保溫護罩內設置有坩 堝、對應所述坩堝的石墨護罩、對應所述石墨護罩的頂部加熱器及側部加 熱器以及位于所述石墨護罩底部的散熱平臺，所述頂部加熱器與側部加熱 器由安裝在所述爐體頂部的外部加熱銅電極控制以實現對石墨護罩頂部及 側部的外部加熱，所述保溫護罩及散熱平臺通過設置在所述爐體底部的石 墨支柱來支撐，所述散熱平臺支撐所述石墨護罩，所述石墨護罩的底板支 撐所述坩堝，其特征在于：

所述加熱系統還包括對應所述坩堝中部的中心平板銅電極及中心平板 加熱器，所述坩堝的中部設置有對應所述中心平板加熱器的中心平板加熱 槽，所述中心平板加熱器設置在所述中心平板加熱槽內；

所述散熱平臺沿厚度方向在下表面設置一圈橫向隔熱槽，所述散熱平 臺沿寬度方向在四周端面設置一圈縱向隔熱槽；所述橫向隔熱槽與縱向隔 熱槽內均填充有隔熱材料；

所述石墨護罩包括設置在所述坩堝側部的石墨側板，以及設置在所述 坩堝底部的石墨底板，所述石墨側板通過長度方向的卡槽與所述石墨底板 周向凸出的卡塊卡合連接；所述石墨底板上位于周向的卡塊內側設置有集 液槽。

2.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐熱循環系統，其特征在于，所 述中心平板加熱槽的長度等于所述坩堝寬度的二分之一。

3.根據權利要求2所述的多晶硅鑄錠爐熱循環系統，其特征在于，所 述中心平板銅電極設置在所述抽氣孔內。

4.根據權利要求3所述的多晶硅鑄錠爐熱循環系統，其特征在于，所 述中心平板加熱槽由設置在所述坩堝中心位置的中心平板槽壁圍成，所述 中心平板槽壁與所述坩堝的底板一體化鑄成。

5.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐熱循環系統，其特征在于，所 述橫向隔熱槽的深度H1小于所述散熱平臺的厚度H并等于所述散熱平臺厚 度H的二分之一。

6.根據權利要求5所述的多晶硅鑄錠爐熱循環系統，其特征在于，所 述縱向隔熱槽的深度小于所述散熱平臺寬度的四分之一。

7.根據權利要求6所述的多晶硅鑄錠爐熱循環系統，其特征在于，所 述橫向隔熱槽的深度H1小于所述縱向隔熱槽與所述散熱平臺下表面之間 的距離H2。

8.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐熱循環系統，其特征在于，所 述集液槽呈方形環狀，所述集液槽的外側壁沿高度方向與所述石墨側板的 內側壁平齊，所述集液槽的內徑小于所述坩堝的外徑。

9.根據權利要求8所述的多晶硅鑄錠爐熱循環系統，其特征在于，所 述集液槽的深度小于所述石墨底板厚度的二分之一。