[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體晶圓電鍍夾持裝置、夾持方法及其電鍍工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610142581.1
• 申請(qǐng)日: 2016-03-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105603497B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖黎明;李林森;魯杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢歐普蘭光電技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): C25D17/06
• 分類號(hào): C25D17/06;C25D17/08;C25D13/12;C25D13/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種半導(dǎo)體晶圓電鍍夾持裝置，其特征在于，包括：絕緣襯板（9）、彈性導(dǎo)電金屬絲（6）、固定螺釘（7）和電極板（8），所述絕緣襯板（9）上形成有半導(dǎo)體晶圓的安裝凹槽（10），所述彈性導(dǎo)電金屬絲（6）的一端電性連接于所述電極板（8），所述電極板（8）固定連接于所述絕緣襯板（9），所述彈性導(dǎo)電金屬絲（6）的另一端延伸至所述安裝凹槽內(nèi)，并能夠?qū)雽?dǎo)體晶圓彈性壓緊在所述安裝凹槽（10）內(nèi)；具體的所述彈性導(dǎo)電金屬絲連接電極板的一端彎折形成固定圈結(jié)構(gòu)，所述固定螺釘（7）依次穿過(guò)所述電極板（8）、彈性導(dǎo)電金屬絲一端的固定圈和所述絕緣襯板（9），將所述彈性導(dǎo)電金屬絲的一端固定于所述電極板（8）和絕緣襯板（9）之間，并同時(shí)實(shí)現(xiàn)彈性導(dǎo)電金屬絲與電極板（8）間的電性連接以及電極板（8）與絕緣襯板（9）間的固定連接；所述彈性導(dǎo)電金屬絲的中部彎折成利于產(chǎn)生彈性壓緊力的弧形結(jié)構(gòu)，所述彈性導(dǎo)電金屬絲的另一端彎折形成能與半導(dǎo)體晶圓上的導(dǎo)電區(qū)電性接觸的圓弧觸點(diǎn)（11）；所述安裝凹槽（10）為形成于絕緣襯板（9）一側(cè)表面上的方形凹槽或圓形凹槽，且安裝凹槽的橫向尺寸大于或等于半導(dǎo)體晶圓的橫向尺寸，安裝凹槽的縱向深度小于半導(dǎo)體晶圓的厚度，安裝凹槽的邊緣垂直于凹槽底面或者相對(duì)于凹槽底面向內(nèi)傾斜設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓電鍍夾持裝置，其特征在于，所述安裝凹槽的縱向深度為半導(dǎo)體晶圓厚度的90%，所述安裝凹槽的邊緣相對(duì)于凹槽底面形成70-90°間的傾角。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓電鍍夾持裝置，其特征在于，所述彈性導(dǎo)電金屬絲的直徑處于0.5-3毫米之間，所述彈性導(dǎo)電金屬絲連接電極板的一端在絕緣襯板平面內(nèi)彎折成直徑在1-4毫米的固定圈結(jié)構(gòu)，所述彈性導(dǎo)電金屬絲連接半導(dǎo)體晶圓的另一端在垂直于絕緣襯板表面的平面內(nèi)向外彎折成直徑在0.5-2毫米的圓弧觸點(diǎn)，所述彈性導(dǎo)電金屬絲的中部在垂直于絕緣襯板表面的平面內(nèi)向內(nèi)彎折成直徑在30-60毫米的弧形結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體晶圓電鍍夾持裝置，其特征在于，所述絕緣襯板（9）采用塑料、尼龍或聚四氟乙烯制作，厚度為3-10毫米；所述彈性導(dǎo)電金屬絲采用鎢絲、鉬絲或銅絲制作，或者所述彈性導(dǎo)電金屬絲采用漆包線或表面涂敷一層光刻膠的金屬線制作，且彈性導(dǎo)電金屬絲（6）的兩端頭露出導(dǎo)電金屬；所述電極板為銅板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體晶圓電鍍夾持裝置，其特征在于，所述絕緣襯板（9）上并排開(kāi)設(shè)有多個(gè)安裝凹槽，且在所述絕緣襯板（9）上固定有多組彈性導(dǎo)電金屬絲，每組彈性導(dǎo)電金屬絲對(duì)應(yīng)于一個(gè)安裝凹槽，固定于所述絕緣襯板上的電極板為一個(gè)整體板或多個(gè)分別對(duì)應(yīng)于各安裝凹槽的個(gè)體板。

6.一種使用權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述半導(dǎo)體晶圓電鍍夾持裝置對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行的電鍍夾持方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟（1）、將絕緣襯板水平放置，并在絕緣襯板的凹槽底面或者待夾持的半導(dǎo)體晶圓背面涂上一層光刻膠；

步驟（2）、將半導(dǎo)體晶圓放入絕緣襯板的安裝凹槽，并緊貼安裝凹槽的下邊緣放置；

步驟（3）、將電極板固定連接于所述絕緣襯板，并使彈性導(dǎo)電金屬絲的一端電性連接于所述電極板；

步驟（4）、將彈性導(dǎo)電金屬絲的另一端壓緊在半導(dǎo)體晶圓的導(dǎo)電區(qū)上，并與之電性連接；

步驟（5）、將夾持有半導(dǎo)體晶圓的絕緣襯板緩慢向豎直方向扶直，并實(shí)時(shí)調(diào)整彈性導(dǎo)電金屬絲使其另一端始終壓緊在半導(dǎo)體晶圓的導(dǎo)電區(qū)上。