[發(fā)明專利]一種具有無理轉(zhuǎn)速比的研磨拋光機驅(qū)動裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610141361.7
• 申請日: 2016-03-11
• 公開（公告）號: CN105773403B
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 文東輝;陳珍珍;姬孟托;蔡東海;王揚渝
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/07;B24B47/12;B24B41/02
• 代理公司: 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本發(fā)明公開了一種具有無理轉(zhuǎn)速比的研磨拋光機驅(qū)動裝置，包括機架、主動軸、從動軸、驅(qū)動主動軸轉(zhuǎn)動的伺服電機和用于支撐盤的研磨盤托盤，伺服電機固定在機架內(nèi)部，伺服電機通過同步帶連接主動軸并驅(qū)動主動軸轉(zhuǎn)動，從動軸豎直安裝在機架上，研磨盤托盤固定在從動軸的上端，從動軸的下端通過萬向聯(lián)軸器連接主動軸，主動軸與從動軸之間呈135度夾角，主動軸轉(zhuǎn)動時通過萬向聯(lián)軸器帶動從動軸轉(zhuǎn)動從而帶動固定在研磨盤托盤上的研磨盤轉(zhuǎn)動。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單緊湊，生產(chǎn)成本低，能夠從研磨加工運動學(xué)原理上解決了加工軌跡線循環(huán)閉合的科學(xué)問題；作為一種無理轉(zhuǎn)速的驅(qū)動裝置，在加工精度上相比傳統(tǒng)的有理轉(zhuǎn)速的驅(qū)動裝置有很大的提高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種平面研磨拋光領(lǐng)域，尤其涉及一種具有無理轉(zhuǎn)速比的研磨拋光機驅(qū)動裝置，主要應(yīng)用于電子、通信、計算機、激光、航天航空等技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

高精度控形、低損傷控形是磨粒加工領(lǐng)域發(fā)展的重要方向。平面研磨加工是獲取光學(xué)元件、藍(lán)寶石襯底、單晶硅襯底等高精度表面的重要手段之一，在電子、通信、計算機、激光、航空航天等技術(shù)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

平面研磨加工須確保平面度、表面粗糙度、表層及亞表層位錯形態(tài)和殘余應(yīng)力等，高精度平面研磨加工是超光滑拋光加工的必備基礎(chǔ)。據(jù)統(tǒng)計：由于研磨加工后工件品質(zhì)不良，導(dǎo)致藍(lán)寶石拋光加工的一次成品率約70%、高頻石英晶片拋光加工合格率約80%，拋光加工中襯底的橘皮、厚度不均勻、踏邊等缺陷都與前期研磨加工表面形狀精度息息相關(guān)，如何實現(xiàn)高效率、高精度控形的平面研磨加工是當(dāng)前的主要技術(shù)瓶頸。

傳統(tǒng)的研磨拋光機在加工工件時由于磨粒在工件上的研磨軌跡重復(fù)，很容易導(dǎo)致工件表面的粗糙度下降、拋光表面形成波紋以及橘皮等缺陷，因此，創(chuàng)新平面研磨加工運動學(xué)方法，提高平面研磨加工的表面質(zhì)量，逐步提升該過程的高精度控形技術(shù)水平，對豐富超光滑低損傷表面的磨粒加工理論具有重要的理論意義和科學(xué)價值。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服傳統(tǒng)的研磨拋光機在加工工件時由于磨粒在工件上的研磨軌跡重復(fù)而導(dǎo)致表面粗糙度下降、拋光表面形成波紋以及橘皮等缺陷的不足，提出了一種具有無理轉(zhuǎn)速比的研磨拋光機驅(qū)動裝置。

本發(fā)明通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)上述目的：一種具有無理轉(zhuǎn)速比的研磨拋光機驅(qū)動裝置，包括機架、主動軸、從動軸、驅(qū)動主動軸轉(zhuǎn)動的伺服電機和用于支撐盤的研磨盤托盤，所述伺服電機固定在機架內(nèi)部，伺服電機通過同步帶連接主動軸并驅(qū)動主動軸轉(zhuǎn)動，所述從動軸豎直安裝在機架上，研磨盤托盤固定在從動軸的上端，所述從動軸的下端通過萬向聯(lián)軸器連接主動軸，所述主動軸與從動軸之間呈135度夾角，所述主動軸轉(zhuǎn)動時通過萬向聯(lián)軸器帶動所述從動軸轉(zhuǎn)動從而帶動固定在研磨盤托盤上的研磨盤轉(zhuǎn)動。

進(jìn)一步的，所述從動軸套裝在從動軸軸承座上，所述從動軸軸承座通過從動軸軸套固定在機架上，所述從動軸通過深溝球軸承和角接觸球軸承連接從動軸軸承座。

進(jìn)一步的，所述從動軸上還套裝有用于將從動軸與從動軸軸承座密封連接的密封圈，所述密封圈設(shè)有上下兩個。

進(jìn)一步的，所述機架內(nèi)還設(shè)有電機支撐板，所述電機支撐板呈45°傾斜設(shè)置在機架內(nèi)部，所述主動軸通過B6905ZZ軸承和主動軸軸承座固定在電機支撐板上，主動軸垂直安裝在電機支撐板上，主動軸的下端設(shè)有從動帶輪，電機的電機頭上固定有主動帶輪，主動帶輪和從動帶輪通過同步帶連接。

進(jìn)一步的，所述電機支撐板的兩端焊接在所述機架內(nèi)部。

進(jìn)一步的，所述從動軸軸套焊接在所述機架上。

進(jìn)一步的，所述機架下端設(shè)有四個機腳。

進(jìn)一步的，所述伺服電機的上端固定有電機支架，所述伺服電機的上端設(shè)有電機安裝板，所述電機安裝板通過電機支架將所述伺服電機垂直固定在電機支撐板上。