[發(fā)明專(zhuān)利]一種干燥裝置及干燥方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610136466.3
• 申請(qǐng)日: 2016-03-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105605899A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃聰;熊燕軍;徐先華
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F26B15/18
• 分類(lèi)號(hào): F26B15/18;F26B21/00;F26B23/08;F26B25/02;F26B25/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及干燥領(lǐng)域，特別是涉及一種干燥裝置及干燥方法。

背景技術(shù)

在較為精細(xì)的生產(chǎn)中，一般需要去除產(chǎn)品上的異物以提高良率，而 在使用水完成清洗操作后，需要對(duì)殘余的水進(jìn)行干燥。例如在液晶面板 的生產(chǎn)制造中，清洗機(jī)中采用去離子水對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，清洗完成 后，需要對(duì)玻璃基板做干燥處理，以去除玻璃基板上的水滴，避免玻璃 基板上殘留的水滴影響到液晶面板的良率。

而現(xiàn)有技術(shù)中的干燥處理是利用干燥空氣去除玻璃基板上的大量 水滴，該方法采用風(fēng)刀干燥，有機(jī)械結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)營(yíng)成本低，去除大量 水滴效果好等優(yōu)點(diǎn)，然而對(duì)于微粒水滴或水霧的干燥效果較差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種干燥裝置及干燥方法以解決現(xiàn)有技術(shù)中待干燥物 上微粒水滴或水霧難以干燥去除的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種干燥裝置，包括干燥空氣噴 淋機(jī)構(gòu)、紅外照射機(jī)構(gòu)、熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)以及傳送機(jī)構(gòu)，傳送機(jī)構(gòu)將待 干燥物依次傳送至干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)、紅外照射機(jī)構(gòu)以及熱空氣噴淋機(jī) 構(gòu)；干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣，紅外照射機(jī)構(gòu)向待干 燥物進(jìn)行紅外照射，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出加熱后的干燥空 氣。

其中，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置有第一狹縫噴嘴，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu) 通過(guò)第一狹縫噴嘴向待干燥物吹出干燥空氣。

其中，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置有加熱器以及第二狹縫噴嘴，加熱器用 于對(duì)干燥空氣進(jìn)行加熱，熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)通過(guò)第二狹縫噴嘴將加熱后的 干燥空氣吹向待干燥物。

其中，干燥裝置進(jìn)一步包括風(fēng)刀機(jī)構(gòu)，設(shè)置于干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)前， 風(fēng)刀機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣后，干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)再向待干燥物 吹出干燥空氣。

其中，風(fēng)刀機(jī)構(gòu)包括多組風(fēng)刀。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明還提供一種干燥方法，包括步驟：向 待干燥物吹出干燥空氣；對(duì)經(jīng)干燥空氣干燥后的待干燥物進(jìn)行紅外照 射；向經(jīng)紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空氣。

其中，向待干燥物吹出干燥空氣的步驟包括：通過(guò)第一狹縫噴嘴向 待干燥物吹出干燥空氣。

其中，向經(jīng)紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空氣的步驟包 括：通過(guò)第二狹縫噴嘴向經(jīng)紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空 氣。

其中，向待干燥物吹出干燥空氣的步驟之前進(jìn)一步包括步驟：使用 風(fēng)刀機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣。

其中，使用風(fēng)刀機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣的步驟包括：使用風(fēng) 刀機(jī)構(gòu)的多組風(fēng)刀向待干燥物吹出干燥空氣。

本發(fā)明的有益效果是，區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明干燥裝置包括干燥 空氣噴淋機(jī)構(gòu)、紅外照射機(jī)構(gòu)、熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)以及傳送機(jī)構(gòu)，傳送機(jī) 構(gòu)將待干燥物依次傳送至干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)、紅外照射機(jī)構(gòu)以及熱空氣 噴淋機(jī)構(gòu)；干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出干燥空氣，將待干燥物上 的水膜分散成微粒水滴；紅外照射機(jī)構(gòu)向待干燥物進(jìn)行紅外照射，紅外 熱量能夠去除待干燥物上的微粒水滴；熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)向待干燥物吹出 加熱后的干燥空氣，加熱后的干燥空氣進(jìn)一步將待干燥物上的剩余水滴 去除，三個(gè)機(jī)構(gòu)依次對(duì)待干燥物上的水滴進(jìn)行去除操作，能夠最大程度 的去除待干燥物上的微粒水滴或水霧。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明干燥裝置一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明干燥方法一實(shí)施方式的流程示意圖。

具體實(shí)施方式

參閱圖1，圖1是本發(fā)明干燥裝置一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí) 施方式干燥裝置100，包括干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11、紅外照射機(jī)構(gòu)12、熱 空氣噴淋機(jī)構(gòu)13以及傳送機(jī)構(gòu)14。

干燥裝置100用于對(duì)待干燥物200進(jìn)行干燥，在本實(shí)施方式中，待 干燥物200為玻璃基板，但本發(fā)明的干燥裝置不僅僅用于對(duì)玻璃基板進(jìn) 行干燥，還可用于對(duì)其他基板或其他產(chǎn)品的干燥。

本實(shí)施方式干燥裝置100中的傳送機(jī)構(gòu)14將待干燥物200依次傳 送至干燥空氣噴淋機(jī)構(gòu)11、紅外照射機(jī)構(gòu)12以及熱空氣噴淋機(jī)構(gòu)13。

傳送裝置14可以為轉(zhuǎn)動(dòng)的傳送帶，其他三個(gè)機(jī)構(gòu)沿著傳送帶設(shè)置， 待干燥物200放置于傳送帶上，相對(duì)傳送帶靜止，即可實(shí)現(xiàn)將待干燥物 200自動(dòng)地傳送至其他三個(gè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行干燥處理。