[發明專利]一種干燥裝置及干燥方法

在審

• 申請號: 201610136466.3
• 申請日: 2016-03-10
• 公開（公告）號: CN105605899A
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 黃聰;熊燕軍;徐先華
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: F26B15/18
• 分類號: F26B15/18;F26B21/00;F26B23/08;F26B25/02;F26B25/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦

技術領域

本發明涉及干燥領域，特別是涉及一種干燥裝置及干燥方法。

背景技術

在較為精細的生產中，一般需要去除產品上的異物以提高良率，而 在使用水完成清洗操作后，需要對殘余的水進行干燥。例如在液晶面板 的生產制造中，清洗機中采用去離子水對玻璃基板進行清洗，清洗完成 后，需要對玻璃基板做干燥處理，以去除玻璃基板上的水滴，避免玻璃 基板上殘留的水滴影響到液晶面板的良率。

而現有技術中的干燥處理是利用干燥空氣去除玻璃基板上的大量 水滴，該方法采用風刀干燥，有機械結構簡單，運營成本低，去除大量 水滴效果好等優點，然而對于微粒水滴或水霧的干燥效果較差。

發明內容

本發明提供一種干燥裝置及干燥方法以解決現有技術中待干燥物 上微粒水滴或水霧難以干燥去除的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種干燥裝置，包括干燥空氣噴 淋機構、紅外照射機構、熱空氣噴淋機構以及傳送機構，傳送機構將待 干燥物依次傳送至干燥空氣噴淋機構、紅外照射機構以及熱空氣噴淋機 構；干燥空氣噴淋機構向待干燥物吹出干燥空氣，紅外照射機構向待干 燥物進行紅外照射，熱空氣噴淋機構向待干燥物吹出加熱后的干燥空 氣。

其中，干燥空氣噴淋機構設置有第一狹縫噴嘴，干燥空氣噴淋機構 通過第一狹縫噴嘴向待干燥物吹出干燥空氣。

其中，熱空氣噴淋機構設置有加熱器以及第二狹縫噴嘴，加熱器用 于對干燥空氣進行加熱，熱空氣噴淋機構通過第二狹縫噴嘴將加熱后的 干燥空氣吹向待干燥物。

其中，干燥裝置進一步包括風刀機構，設置于干燥空氣噴淋機構前， 風刀機構向待干燥物吹出干燥空氣后，干燥空氣噴淋機構再向待干燥物 吹出干燥空氣。

其中，風刀機構包括多組風刀。

為解決上述技術問題，本發明還提供一種干燥方法，包括步驟：向 待干燥物吹出干燥空氣；對經干燥空氣干燥后的待干燥物進行紅外照 射；向經紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空氣。

其中，向待干燥物吹出干燥空氣的步驟包括：通過第一狹縫噴嘴向 待干燥物吹出干燥空氣。

其中，向經紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空氣的步驟包 括：通過第二狹縫噴嘴向經紅外照射后的待干燥物吹出加熱后的干燥空 氣。

其中，向待干燥物吹出干燥空氣的步驟之前進一步包括步驟：使用 風刀機構向待干燥物吹出干燥空氣。

其中，使用風刀機構向待干燥物吹出干燥空氣的步驟包括：使用風 刀機構的多組風刀向待干燥物吹出干燥空氣。

本發明的有益效果是，區別于現有技術，本發明干燥裝置包括干燥 空氣噴淋機構、紅外照射機構、熱空氣噴淋機構以及傳送機構，傳送機 構將待干燥物依次傳送至干燥空氣噴淋機構、紅外照射機構以及熱空氣 噴淋機構；干燥空氣噴淋機構向待干燥物吹出干燥空氣，將待干燥物上 的水膜分散成微粒水滴；紅外照射機構向待干燥物進行紅外照射，紅外 熱量能夠去除待干燥物上的微粒水滴；熱空氣噴淋機構向待干燥物吹出 加熱后的干燥空氣，加熱后的干燥空氣進一步將待干燥物上的剩余水滴 去除，三個機構依次對待干燥物上的水滴進行去除操作，能夠最大程度 的去除待干燥物上的微粒水滴或水霧。

附圖說明

圖1是本發明干燥裝置一實施方式的結構示意圖；

圖2是本發明干燥方法一實施方式的流程示意圖。

具體實施方式

參閱圖1，圖1是本發明干燥裝置一實施方式的結構示意圖，本實 施方式干燥裝置100，包括干燥空氣噴淋機構11、紅外照射機構12、熱 空氣噴淋機構13以及傳送機構14。

干燥裝置100用于對待干燥物200進行干燥，在本實施方式中，待 干燥物200為玻璃基板，但本發明的干燥裝置不僅僅用于對玻璃基板進 行干燥，還可用于對其他基板或其他產品的干燥。

本實施方式干燥裝置100中的傳送機構14將待干燥物200依次傳 送至干燥空氣噴淋機構11、紅外照射機構12以及熱空氣噴淋機構13。

傳送裝置14可以為轉動的傳送帶，其他三個機構沿著傳送帶設置， 待干燥物200放置于傳送帶上，相對傳送帶靜止，即可實現將待干燥物 200自動地傳送至其他三個機構進行干燥處理。