[發明專利]一種有毒有害氣體的分析系統及使用方法

在審

• 申請號: 201610134765.3
• 申請日: 2016-03-09
• 公開（公告）號: CN105784863A
• 公開（公告）日: 2016-07-20
• 發明（設計）人: 李智;廖恒易;葉相平
• 申請（專利權）人: 廣東華特氣體股份有限公司;綏寧縣聯合化工有限責任公司;郴州湘能半導體氣體有限公司;江西華特電子化學品有限公司
• 主分類號: G01N30/02
• 分類號: G01N30/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 張海英;林波

技術領域

本發明涉及氣體檢測領域，具體為一種有毒有害氣體的分析系統及使用方 法。

背景技術

在氣體生產的過程中，為了保證產品的質量(如純凈度、是否存在有害雜 質等)，需要在出廠前對相應的氣體產品進行檢測分析。在檢測的過程中，有 可能被檢的氣體為有毒、易燃易爆氣體，例如硅烷、磷烷、鍺烷、二氧化硫等 等，而當遇到需要對這些氣體進行檢測時，需要非常謹慎，稍有泄露就會對周 邊的人畜、環境造成危害。

目前現有技術的檢測系統，僅為三通閥對樣品氣體(待測氣體)、清洗氣體 (一般為氦氣，用于每次開始檢測前對管路進行吹掃)和檢測儀器進行連通， 因為每次在測試完畢之后拆卸樣品氣體時，管道內會殘留較多的樣品氣體，為 了避免這些殘留的樣品氣體對操作人員產生危害，因此，管路系統會設置在通 風氣柜內，通風氣柜的出風口連通尾氣處理裝置。

但是如此一來，會產生如下問題：1.通風氣柜的費用較高，同時對使用場 地有一定要求；2.采用氦氣直接吹掃置換，導致氦氣消耗較多，成本較高，因 為氦氣為稀有氣體，價格非常昂貴，此外，也會存在樣品在管道殘留的危險。

發明內容

本發明的目的在于解決上述問題，提出一種有毒有害氣體的分析系統，以 解決樣品氣體的泄漏，以及減少氦氣的使用量。

本發明也提出一種有毒有害氣體的分析系統的使用方法，使得操作簡單容 易，而且檢測準確度高。

本發明的有毒有害氣體的分析系統，包括抽真空部、樣品氣進氣部和輔助 氣體進氣部；所述樣品氣體進氣部B包括樣品接氣管、樣品送氣管、接氣閥門和 減壓器，所述接氣閥門設置于所述樣品接氣管的一端，所述樣品接氣管的另一 端連通所述樣品送氣管的一端，所述樣品送氣管的另一端設置有減壓器；所述 輔助氣體進氣部包括清洗氣接氣管、標準氣接氣管、混合輸氣管、放空閥門、 所述接氣閥門和控制閥門，所述接氣閥門設置于所述標準氣接氣管的一端，所 述標準氣接氣管的另一端連通所述混合輸氣管，清洗氣接氣管的一端通過所述 控制閥門連通所述混合輸氣管，所述混合輸氣管的中部連通放空閥門的一端， 所述混合輸氣管的另一端連通所述樣品送氣管的另一端；所述抽真空部連通所 述放空閥門的另一端。

優選的，所述抽真空部包括真空發生器，所述真空發生器的負壓接口連通 所述空閥門的另一端。

優選的，所述所述標準氣接氣管的另一端通過所述控制閥門連通所述混合 輸氣管；所述樣品接氣管的另一端通過所述控制閥門連通所述樣品送氣管。

優選的，所述控制閥門為截止閥，所述接氣閥門為針型閥，所述放空閥門 為截止閥。

優選的，所述真空發生器的正壓氣體為氮氣。

優選的，還設置有單向閥，所述單向閥設置于所述混合輸氣管的進氣端的 近端部。

優選的，還設置有壓力表，所述壓力表設置于所述樣品送氣管的另一端。

優選的，所述樣品送氣管和所述混合輸氣管為1/8英寸的316不銹鋼管。

本發明的有毒有害氣體的分析系統的使用方法，包括以下步驟：

步驟1：減壓器連通檢測設備；

步驟2：管路吹掃，關閉所述放空閥門和所述接氣閥門，氦氣通過清洗氣接 氣管進入氣路進行置換吹掃，關閉氦氣接入的控制閥門，打開放空閥門對管路 進行抽真空；

步驟3：標準氣體接入，關閉放空閥門，打開標準氣接氣管的接氣閥門；

步驟4：管路吹掃，關閉所述放空閥門和所述接氣閥門，氦氣通過清洗氣接 氣管進入氣路進行置換吹掃，關閉氦氣接入的控制閥門，打開放空閥門對管路 進行抽真空；

步驟5：樣品氣體接入，關閉放空閥門，打開樣品接氣管的接氣閥門；

步驟6：管路清潔，關閉所述放空閥門和所述接氣閥門，氦氣通過清洗氣接 氣管進入氣路進行置換吹掃，關閉氦氣接入的控制閥門，打開放空閥門對管路 進行抽真空。

優選的，所述步驟2和步驟4分別循環進行3-6次后，再進行下一個步驟。

本發明的有毒有害氣體的分析系統，結構簡單可靠，方便維護，而且制造 成本低，適合大規模工業化引用；本發明的有毒有害氣體的分析系統的使用方 法，容易操作，步驟簡單。

附圖說明

附圖對本發明做進一步說明，但附圖中的內容不構成對本發明的任何限 制。

圖1是本發明的其中一個實施例的示意圖；