[發明專利]ESD測試裝置及ESD測試方法

有效

• 申請號: 201610134257.5
• 申請日: 2016-03-09
• 公開（公告）號: CN105785239B
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: 黃笑宇
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01R31/12
• 分類號: G01R31/12
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種ESD測試裝置，其特征在于，包括：測試模塊(1)、與所述測試模塊(1)電性連接的選通模塊(2)、以及與所述測試模塊(1)和選通模塊(2)均電性連接的顯示模塊(3)；

設M和N均為正整數，所述測試模塊(1)包括多條并聯的輸出通道(OUT(1)～OUT(N))、以及多條并聯的測試通道(TP(1)～TP(M))，所述多條并聯的輸出通道(OUT(1)～OUT(N))與所述多條并聯的測試通道(TP(1)～TP(M))串聯；

所述顯示模塊(3)與選通模塊(2)均與第M條測試通道(TP(M))電性連接。

2.如權利要求1所述的ESD測試裝置，其特征在于，每一測試通道均包括：一測試焊盤(P)、以及一二極管(D)，所述二極管(D)的正極與所述測試焊盤(P)電性連接，負極與所述輸出通道電性連接。

3.如權利要求1所述的ESD測試裝置，其特征在于，每一輸出通道上均設有與所述選通模塊(2)電性連接的選通開關(SW)，所述選通模塊(2)控制選通開關(SW)打開與關閉。

4.如權利要求1所述的ESD測試裝置，其特征在于，所述輸出通道的數量大于等于待進行ESD測試的測試點的數量。

5.如權利要求4所述的ESD測試裝置，其特征在于，所述測試通道的數量大于等于每一測試點需要重復測試的次數。

6.一種ESD測試方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、提供一ESD測試裝置，包括：測試模塊(1)、與所述測試模塊(1)電性連接的選通模塊(2)、以及與所述測試模塊(1)和選通模塊(2)均電性連接的顯示模塊(3)；

設M和N均為正整數，所述測試模塊(1)包括多條并聯的輸出通道(OUT(1)～OUT(N))、以及多條并聯的測試通道(TP(1)～TP(M))，所述多條并聯的輸出通道(OUT(1)～OUT(N))與所述多條并聯的測試通道(TP(1)～TP(M))串聯；

所述顯示模塊(1)與選通模塊(2)均與第M條測試通道(TP(M))電性連接；

步驟2、將待進行ESD測試樣品的多個測試點從第一條輸出通道(OUT(1))起分別電性連接至所述多條并聯的輸出通道(OUT(1)～OUT(N))，選通模塊(2)選通第一條輸出通道(OUT(1))，顯示模塊(3)顯示數為1；

步驟3、從第一條測試通道(TP(1))向第M條測試通道(TP(M))逐一接入放電信號對被選通的輸出通道連接的測試點進行M次測試；

第M條測試通道(TP(M))接入放電信號時，所述選通模塊(2)接收到放電信號，選通下一條輸出通道，所述顯示模塊(3)接收到放電信號，顯示數加1；

步驟4、判斷是否完成所有測試點的測試，完成則結束ESD測試，未完成則返回步驟3。

7.如權利要求6所述的ESD測試方法，其特征在于，每一測試通道均包括：一測試焊盤(P)、以及一二極管(D)，所述二極管(D)的正極與所述測試焊盤(P)電性連接，負極與所述輸出通道電性連接。

8.如權利要求6所述的ESD測試方法，其特征在于，每一輸出通道上均設有與所述選通模塊(2)電性連接的選通開關(SW)，所述選通模塊(2)通過提供對應的選通信號控制選通開關(SW)打開與關閉來完成輸出通道的選通。

9.如權利要求6所述的ESD測試方法，其特征在于，所述輸出通道的數量大于等于待進行ESD測試的測試點的數量，所述測試通道的數量大于等于每一測試點需要重復測試的次數。

10.如權利要求6所述的ESD測試方法，其特征在于，ESD測試中斷時，所述選通模塊(2)將保持中斷時的選通的輸出通道，顯示模塊(3)將保持中斷時的顯示數。