[發明專利]非接觸式探針信號加載裝置

有效

• 申請號: 201610133230.4
• 申請日: 2016-03-09
• 公開（公告）號: CN105589231B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 徐敏;俞健陽;孫緯偉;魏振
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 曹玲柱

1.一種非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，包括：

探針金屬片(260)，電性連接至信號載入端，其下部朝向待載入信號的信號接入金屬片(310)；

其中，所述探針金屬片(260)與信號接入金屬片(310)形成信號傳輸電容，由該信號傳輸電容作為媒介，由探針金屬片(260)將載入的信號傳輸至所述信號接入金屬片(310)，

所述非接觸式探針信號加載裝置還包括：

探針座(230)，所述探針金屬片固定于該探針座并與該探針座(230)電性隔離；

支撐基座(210)，其下部具有防護凹槽，該防護凹槽供所述探針座與固定于其上的探針金屬片容置；以及

探針升降裝置(220)，用于帶動所述探針座的升降；

其中，在該探針升降裝置(220)的帶動下，所述探針座與固定于其上的探針金屬片可處于以下兩個狀態其中之一：伸出狀態，所述探針座與固定于其上的探針金屬片從所述防護凹槽中伸出；回收狀態，所述探針座與固定于其上的探針金屬片回收至所述防護凹槽內。

2.根據權利要求1所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，所述探針升降裝置(220)包括：

升降桿(224)，其末端通過開設于防護凹槽上部的支撐基座部分的通孔伸入所述防護凹槽內，固定于所述探針座上。

3.根據權利要求2所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，所述探針升降裝置(220)還包括：

螺紋絲杠(222)，沿垂直于所述信號接入金屬片(310)的方向設置；

螺絲滑塊(223)，套設于所述螺紋絲杠的外部，其內螺紋與其內螺紋相嚙合；

其中，所述升降桿(224)呈“7”字形，其前端固定在螺絲滑塊上，通過螺紋絲杠(222)帶動探針座(230)和探針金屬片(240)上下移動。

4.根據權利要求3所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，所述探針升降裝置(220)還包括：

伺服電機(221)，固定于所述支撐基座的上方；

其中，所述螺紋絲杠(222)的上端固定于所述伺服電機的輸出軸，下端固定于所述支撐基座對應位置的旋轉底座(221)。

5.根據權利要求1所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，還包括：

控制系統(240)，用于產生控制探針座升降的控制指令；

其中，所述探針升降裝置(220)根據接收到的控制指令帶動所述探針座升降。

6.根據權利要求5所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，還包括：

下部位移傳感器(251)，設置于探針座的下部，用于探測所述探針金屬片(260)與下方的信號接入金屬片(310)之間的第二距離；

所述控制系統(240)根據所述下部位移傳感器的反饋通過探針升降裝置(220)控制探針座的升降，以保證第二距離滿足信號傳輸的需要。

7.根據權利要求5所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，還包括：

上部位移傳感器(252)，設置于所述探針座的上部，用于探測探針座的頂部與防護凹槽底部的第一距離；

所述控制系統(240)根據所述上部位移傳感器反饋的第一距離通過探針升降裝置(220)控制探針座的升起，以保證第一距離始終大于零。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，所述探針金屬片(260)與下方的信號接入金屬片(310)之間的距離介于100μm～120μm之間。

9.根據權利要求1至7中任一項所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，所述探針金屬片呈與下方信號接入金屬片(310)對應的陣列排布。

10.根據權利要求1至7中任一項所述的非接觸式探針信號加載裝置，其特征在于，應用于TFT-LCD工藝生產過程中TFT玻璃的檢測；

其中，所述信號接入金屬片(310)為TFT玻璃上的信號接入金屬片(310)。