[發(fā)明專(zhuān)利]基于電子束蒸發(fā)的雙鎢坩堝結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610133184.8
• 申請(qǐng)日: 2016-03-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105586571B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周?chē)?guó)山;薛元;夏佑科;張國(guó)棟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州新材料研究所有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/30
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/30
• 代理公司: 蘇州睿昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32277
• 代理人: 伍見(jiàn)

1.一種基于電子束蒸發(fā)的雙鎢坩堝結(jié)構(gòu)，其特征在于，其包括：

第一鎢坩堝，所述第一鎢坩堝包括中空?qǐng)A柱形的第一本體，所述第一本體的底部由電子束加熱，所述第一本體的頂部設(shè)有第一邊緣，所述第一邊緣的外徑大于所述第一本體的外徑，所述第一邊緣的頂部設(shè)有第一斜面；

第二鎢坩堝，所述第二鎢坩堝包括中空?qǐng)A柱形的第二本體，所述第二本體頂部設(shè)有中空的圓臺(tái)體，所述圓臺(tái)體底部直徑小于其頂部直徑，所述圓臺(tái)體的頂部設(shè)有中空?qǐng)A柱形的第二邊緣，所述圓臺(tái)體的外表面為第二斜面，所述第二斜面與所述第一斜面互相配合，所述第一斜面支撐所述第二斜面進(jìn)而支撐所述第二鎢坩堝；

所述第二鎢坩堝置于所述第一鎢坩堝的頂部，所述第二本體伸入至所述第一本體中空部，且所述第二本體的外壁貼緊所述第一本體中空的內(nèi)壁，電子束加熱所述第一本體的底部，熱量由所述第一本體傳給給所述第二本體，使所述第二鎢坩堝獲得熱量蒸發(fā)銀絲，銀滴落入到所述第二本體的底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于電子束蒸發(fā)的雙鎢坩堝結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括陶瓷片，所述陶瓷片設(shè)置在所述第一本體的底部，所述陶瓷片置于所述第一本體和第二本體之間，所述陶瓷片用于阻擋所述第一本體輻射的局部熱量。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于電子束蒸發(fā)的雙鎢坩堝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述陶瓷片的頂部與所述第二本體的底部之間有間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于電子束蒸發(fā)的雙鎢坩堝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一本體與所述第一邊緣一體成型。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于電子束蒸發(fā)的雙鎢坩堝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二本體、圓臺(tái)體和第二邊緣一體成型。