[發明專利]膜厚測定裝置和膜厚測定方法在審
| 申請號： | 201610132907.2 | 申請日： | 2016-03-09 |
| 公開（公告）號： | CN106017337A | 公開（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發明（設計）人： | 八尋俊一;尾上幸太朗;田中茂喜 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳;朱弋 |
| 地址： | 日本，*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測定 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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