[實用新型]一種顯微鏡載臺晶圓承片治具

有效

• 申請號: 202121034725.4
• 申請日: 2021-05-14
• 公開（公告）號: CN214477363U
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 李凱文
• 申請（專利權）人: 湘能華磊光電股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 長沙七源專利代理事務所(普通合伙) 43214
• 代理人: 張勇;周曉艷

本實用新型提供了一種顯微鏡載臺晶圓承片治具。包括治具本體，所述治具本體上設有晶圓放置部；所述晶圓放置部上設有沉槽，所述沉槽一側設有延伸至治具本體側面的缺口。本實用新型通過在治具本體上設置晶圓放置部，便于將晶圓放置在治具本體上，隨治具本體移動，便于在顯微鏡下進行觀測；晶圓放置部上設有用于容納吸筆的沉槽，沉槽一側設有延伸至治具本體側面的缺口，便于操作人員將吸筆從治具本體側面的缺口伸入晶圓下方，對晶圓下表面進行吸附，實現晶圓的轉移，避免對晶圓的觀測面造成污染。

技術領域

本實用新型涉及檢測裝置領域，具體涉及一種顯微鏡載臺晶圓承片治具。

背景技術

通過顯微鏡對晶圓進行觀測時，需不斷移動晶圓的觀測位置，而直接通過人工挪動晶圓，容易導致晶圓表面沾染油污，影響觀測結果，若通過吸筆對晶圓上表面進行吸附取放，會導致晶圓上表面沾染污漬；若通過吸筆對晶圓下表面進行吸附取放，吸筆與載臺之間會存在干涉，操作不便。

綜上所述，急需一種顯微鏡載臺晶圓承片治具以解決現有技術中存在的問題。

實用新型內容

本實用新型目的在于提供一種顯微鏡載臺晶圓承片治具，以解決在顯微鏡下觀測晶圓時晶圓的取放的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種顯微鏡載臺晶圓承片治具，包括治具本體，所述治具本體上設有晶圓放置部；所述晶圓放置部上設有沉槽，所述沉槽一側設有延伸至治具本體側面的缺口。

優選的，所述晶圓放置部上設有弧形擋邊。

優選的，所述治具本體上設有手柄。

優選的，所述手柄位于治具本體遠離沉槽的缺口的一側。

優選的，所述手柄上設有防滑紋。

優選的，所述治具本體底面為平面。

優選的，所述治具本體底面設有減阻涂層。

優選的，所述治具本體的材質為絕緣材料。

優選的，所述治具本體的材質為電木板。

應用本實用新型的技術方案，具有以下有益效果：

(1)本實用新型中，通過在治具本體上設置晶圓放置部，便于將晶圓放置在治具本體上，隨治具本體移動，便于在顯微鏡下進行觀測；晶圓放置部上設有用于容納吸筆的沉槽，沉槽一側設有延伸至治具本體側面的缺口，便于操作人員將吸筆從治具本體側面的缺口伸入晶圓下方，對晶圓下表面進行吸附，實現晶圓的轉移，避免對晶圓的觀測面(即上表面)造成污染。

(2)本實用新型中，通過在晶圓放置部上設置弧形擋邊，用以實現對晶圓的圓周側面的抵靠。

(3)本實用新型中，治具本體上設有手柄，便于操作人員通過手柄移動治具本體和治具本體上的晶圓，用以實現顯微鏡頭下晶圓觀測位置的移動。

(4)本實用新型中，手柄位于治具本體遠離沉槽的缺口的一側，便于操作人員從治具本體的一側放置晶圓，從治具本體的另一側通過手柄移動治具本體，避免操作人員手持手柄時，晶圓對操作人員的手造成干涉。

(5)本實用新型中，治具本體底面為平面，便于治具本體在載臺上移動；治具本體底面設有減阻涂層，用以減少治具本體底面與顯微鏡載臺上表面之間的摩擦力。

(6)本實用新型中，治具本體的材質為絕緣材料，優選材質為電木板，具有較好的絕緣性、不產生靜電、耐磨及耐高溫等特點，有利于晶圓的防護。

除了上面所描述的目的、特征和優點之外，本實用新型還有其它的目的、特征和優點。下面將參照圖，對本實用新型作進一步詳細的說明。

附圖說明