[發(fā)明專利]一種金屬氣體元素注入系統(tǒng)的搭建方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610131295.5
• 申請日: 2016-03-08
• 公開（公告）號: CN105734517B
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫安;范義奎;張力平
• 申請（專利權(quán)）人: 安德信微波設(shè)備有限公司
• 主分類號: C23C14/48
• 分類號: C23C14/48;C23C14/14;C23C14/54
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231
• 代理人: 翁斌

1.一種金屬氣體元素注入系統(tǒng)的搭建方法，其特征在于：系統(tǒng)步驟包括：

第一、真空系統(tǒng)搭建；將四通、第一級管道、第二級管道、第三級管道、三個分子泵、冷規(guī)、帶管道的松套法蘭、熱陰極規(guī)和玻璃法蘭進(jìn)行對接；

第二、真空檢漏；密封第一級管道并將三個分子泵并聯(lián)，再通過檢漏儀進(jìn)行壓力檢測，檢測順序自上而下；

第三、抽真空；將鎂粉加入坩堝中，將克努森容器接在第一級管道上，將渦旋式干泵與分子泵相連，將機(jī)械泵開啟，待系統(tǒng)壓強(qiáng)下降到分子泵能夠工作的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，開啟分子泵；記錄真空示數(shù)的變化；

第四、烘烤；將烘烤帶均勻的包在真空管道上，在烘烤帶外包裹鋁箔；調(diào)整烘烤帶的加熱電源，并用紅外測溫儀監(jiān)測溫度變化，溫度穩(wěn)定后觀察真空變化；

第五、加熱；用溫度控制器結(jié)合加熱電源進(jìn)行加熱，開啟水冷裝置，設(shè)置加熱溫度；加熱停止后，等溫度下降并關(guān)閉水冷裝置；打開分子泵上的放氣閥，使系統(tǒng)恢復(fù)至1個大氣壓，卸下玻璃法蘭，未形成鍍膜；

第六、注量分析；鍍膜未成功則無法通過測量膜厚來估算氣體注量，需要采用真空極差變化來估算注量；

所述第一步具體包括：

a、將一個帶小孔的四通與第一級管道通過法蘭進(jìn)行連接，以中心對稱的方式將分子泵和冷規(guī)接在四通的兩個接口上，保證其穩(wěn)定性；

b、將一個帶有管道的松套法蘭接在第二級管道上，松套法蘭無需擰緊；

c、將管道倒下，在小孔處打手電，在第一級管道處觀察；起初，只能在管道壁上看到一點光，經(jīng)過多次調(diào)整，能夠看到一個明亮的圓形光斑；至此，準(zhǔn)直工作完成，將松套法蘭擰好；

d、將第二級和第三級管道連接，然后再與松套法蘭連接；將管道水平放置到支架上并固定好；在第三級管道上安裝上分子泵、熱陰極規(guī)和玻璃法蘭；將線路連接好，至此系統(tǒng)搭建基本完成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬氣體元素注入系統(tǒng)的搭建方法，其特征在于：所述第二步具體包括：將第一級暫時用法蘭密封起來，用膠帶將所有法蘭的接口處密封，用波紋管將3個分子泵并聯(lián)起來，接到檢漏儀上；開啟檢漏儀，等到真空下降到10Pa以下，開始進(jìn)行檢漏；向法蘭的檢漏口處注入少量的氦氣，然后觀察檢漏儀上示數(shù)變化；每個法蘭檢兩次。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬氣體元素注入系統(tǒng)的搭建方法，其特征在于：所述第四步中烘烤帶的電阻值均在100Ω；烘烤時，烘烤帶的加熱電源調(diào)整至100V。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬氣體元素注入系統(tǒng)的搭建方法，其特征在于：所述第五步中加熱溫度設(shè)置在410℃，加熱時間為8小時，溫度下降到200℃以下再關(guān)閉水冷裝置。