[發明專利]用于蝕刻銅基金屬層的蝕刻劑組合物和使用它的蝕刻方法在審
| 申請號： | 201610124148.5 | 申請日： | 2016-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN105970224A | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發明（設計）人： | 鞠仁說;金寶衡;李鐘文 | 申請（專利權）人： | 東友精細化工有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/18 | 分類號： | C23F1/18;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京度衡知識產權代理有限公司 11601 | 代理人： | 鐘錦舜 |
| 地址： | 韓國全*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 蝕刻 基金 組合 使用 方法 | ||
【說明書】：
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