[發(fā)明專利]用于測定復(fù)合零級波片裝配誤差的裝置與方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610122252.0
• 申請日: 2016-03-03
• 公開（公告）號: CN105784327B
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓志剛;鄭權(quán);陳磊;朱日宏;張瑞;孫沁園;孟濤
• 申請（專利權(quán)）人: 南京理工大學(xué)
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 南京理工大學(xué)專利中心32203
• 代理人: 王培松

1.一種用于測定復(fù)合零級波片裝配誤差的裝置，其特征在于，包括寬帶光源、第一光闌、第二光闌、第一偏振片、第二偏振片、旋轉(zhuǎn)調(diào)整架、控制器、多通道光柵光譜儀以及計(jì)算處理裝置，被測定復(fù)合零級波片安裝在旋轉(zhuǎn)調(diào)整架上，并且位于第一偏振片、第二偏振片之間，其中：

寬帶光源，用于向被測定復(fù)合零級波片提供照明；

第一光闌，置于寬帶光源與第一偏振片之間，并且位于被測定復(fù)合零級波片之前，用于限制照明光束的發(fā)散；

第二光闌，置于第二偏振片與多通道光柵光譜儀之間，并且位于被測定復(fù)合零級波片之后，用于限制照明光束的發(fā)散；

作為起偏器的二向性偏振片，作為第一偏振片，置于第一光闌之后；

作為檢偏器的二向性偏振片，作為第二偏振片，置于第二光闌之前；

旋轉(zhuǎn)調(diào)整架，用于帶動被測定復(fù)合零級波片轉(zhuǎn)動；

控制器，與所述旋轉(zhuǎn)調(diào)整架連接，用于控制旋轉(zhuǎn)調(diào)整架的運(yùn)動；

多通道光柵光譜儀，均置于第二光闌之后，用于采集隨著波長變化的光譜數(shù)據(jù)，即隨著波長變化的相對光強(qiáng)值；

計(jì)算處理裝置，分別連接至所述控制器以及多通道光柵光譜儀，用于向控制器施加控制指令以調(diào)整旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)的位置以實(shí)現(xiàn)不同角度下光譜數(shù)據(jù)的采集，以及根據(jù)多通道光柵光譜儀采集的光譜數(shù)據(jù)測定裝配誤差；

其中，所述計(jì)算處理裝置被設(shè)置成根據(jù)多通道光柵光譜儀采集的光譜數(shù)據(jù)并按照下面的方式測定裝配誤差：使用復(fù)合零級波片的瓊斯矩陣乘積模型和復(fù)合零級波片的特征向量的參數(shù)模型建立復(fù)合零級波片裝配誤差和橢偏光特征參數(shù)之間關(guān)系，再通過波片旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)譜域移相，獲取多組光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，以提取橢偏光特征參數(shù)，最后采用列文伯格-馬夸爾特法擬合橢偏光特征參數(shù)計(jì)算出裝配誤差。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測定復(fù)合零級波片裝配誤差的裝置，其特征在于，所述寬帶光源為直流穩(wěn)壓光纖光源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測定復(fù)合零級波片裝配誤差的裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)整架為圓盤形旋轉(zhuǎn)調(diào)整架。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測定復(fù)合零級波片裝配誤差的裝置，其特征在于，所述第一光闌和第二光闌為可調(diào)光闌。

5.一種采用權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的裝置實(shí)現(xiàn)的用于測定復(fù)合零級波片裝配誤差的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、比較復(fù)合零級波片的瓊斯矩陣乘積模型和特征向量參數(shù)模型，得出復(fù)合零級波片出射的橢偏光參數(shù)和裝配誤差的關(guān)系；

步驟2、轉(zhuǎn)動復(fù)合零級波片實(shí)現(xiàn)譜域移相，采集多組移相后的光譜數(shù)據(jù)，提取初相位，獲取橢偏光特征參數(shù)；

步驟3、采用列文伯格-馬夸爾特法擬合橢偏光特征參數(shù)，得出裝配誤差。