[發(fā)明專利]精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610121207.3
• 申請(qǐng)日: 2016-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105549239B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊二;馬海買提;陳中明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，用于隔絕腔體內(nèi)外溫度交換，所述遮蔽裝置包括：遮蔽門，設(shè)置于腔體上，用于進(jìn)行所述腔體的開(kāi)/關(guān)動(dòng)作；以及至少二熱風(fēng)噴頭，設(shè)置于腔體之壁面并位于所述遮蔽門的左右兩側(cè)，用于當(dāng)所述遮蔽門打開(kāi)時(shí)噴出干潔氣體以防止所述腔體與腔體外界溫度交換，保證了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)量測(cè)總間距的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及一種遮蔽(Shutter)裝置，特別涉及一種用于液晶顯示領(lǐng)域的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置。

【背景技術(shù)】

精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)TTP(Total Pitch)機(jī)臺(tái)是薄膜晶體管液晶顯示器(Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display,TFT-LCD)制程重要的光學(xué)量測(cè)機(jī)臺(tái)，主要用于TFT基板/CF(彩色濾光片基板)基板第一層圖案制作時(shí)曝光機(jī)曝光精度參數(shù)總間距(TotalPitch)的量測(cè)，其量測(cè)結(jié)果直接決定了后續(xù)圖像制程的曝光對(duì)位，以及最終對(duì)組貼合的精度。

Total Pitch量測(cè)的基本原理是激光的邁克爾遜干涉，通過(guò)干涉條紋強(qiáng)度計(jì)算距離。激光的穩(wěn)定性易受溫度影響，所以需要保證機(jī)臺(tái)和量測(cè)的玻璃均保持在恒溫狀態(tài)，一般是將機(jī)臺(tái)放置于恒溫室中，溫度保持為23±0.1℃。玻璃則是先進(jìn)入機(jī)臺(tái)外的冷卻緩沖機(jī)構(gòu)(Cooling Buffer),定時(shí)恒溫后再透過(guò)機(jī)械手搬入機(jī)臺(tái)量測(cè)。

然而，恒溫室外界的無(wú)塵環(huán)境的溫度控制在23±0.5℃，在將玻璃搬送入恒溫室時(shí)，恒溫室與外界是相通的，而會(huì)造成恒溫室溫度的細(xì)小變化，會(huì)導(dǎo)致玻璃進(jìn)入機(jī)臺(tái)后在量測(cè)過(guò)程中因溫度變化產(chǎn)生熱脹冷縮效應(yīng)，影響Total Pitch的量測(cè)準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

由上可知，業(yè)界迫切需要一種運(yùn)送玻璃時(shí)確保恒溫室溫度保持固定的裝置，以提高量測(cè)的準(zhǔn)確性。

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明的個(gè)目的在于提供一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其透過(guò)熱風(fēng)噴頭產(chǎn)生熱風(fēng)氣流，阻隔了腔體內(nèi)外的熱交換，確保了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)所在的恒溫室的溫度恒定，防止基板產(chǎn)生溫度細(xì)微變化，保證了Total Pitch的量測(cè)準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，用于隔絕腔體內(nèi)外溫度交換，所述遮蔽裝置包括：遮蔽門，設(shè)置于腔體上，用于進(jìn)行所述腔體的開(kāi)/關(guān)動(dòng)作；以及至少二熱風(fēng)噴頭，設(shè)置于腔體之壁面并位于所述遮蔽門的左右兩側(cè)，用于當(dāng)所述遮蔽門打開(kāi)時(shí)噴出干潔氣體(Clean Dry Air，CDA)以防止所述腔體與腔體外界溫度交換。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的遮蔽裝置中，所述遮蔽門是平行所述腔體的壁面往下打開(kāi)。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的遮蔽裝置中，所述干潔氣體形成溫度均勻的水平的熱風(fēng)氣流。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的遮蔽裝置中，所述至少二熱風(fēng)噴頭包括在所述遮蔽門左側(cè)的三個(gè)垂直排列的熱風(fēng)噴頭，并包括在所述遮蔽門右側(cè)的三個(gè)垂直排列的熱風(fēng)噴頭。在本實(shí)施例中，所述左側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭水平對(duì)應(yīng)所述右側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭。在另一實(shí)施例中，所述左側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭垂直的交錯(cuò)所述右側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的遮蔽裝置中，所述精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置進(jìn)一步包括CDA氣源，并透過(guò)管路連接CDA氣源與所述至少二熱風(fēng)噴頭。在本實(shí)施例中，所述管路上設(shè)有溫度傳感器，以維持噴出CDA的溫度。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置透過(guò)熱風(fēng)噴頭產(chǎn)生水平熱風(fēng)氣流，阻隔了腔體內(nèi)外的熱交換，確保了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)所在的腔體的溫度恒定，防止玻璃基板產(chǎn)生溫度細(xì)微變化，進(jìn)而保證了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)量測(cè)Total Pitch的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。

為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下：

【附圖說(shuō)明】