[發(fā)明專利]制造高分辨率有機薄膜圖案的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610115813.4
• 申請日: 2011-01-05
• 公開（公告）號: CN105742495B
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐旼撤;李信斗;崔原碩;金珉會
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司;首爾大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L27/32;H01L51/05;H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 郭艷芳;康泉

一種制造高分辨率有機薄膜圖案的方法，該方法包括：在基板上形成第一有機層；通過選擇性地向所述第一有機層照射光能來選擇性地去除所述第一有機層，并將所述第一有機層的剩余部分形成為犧牲層；在所述基板以及所述犧牲層的整個表面上形成第二有機層；以及通過利用溶劑去除所述犧牲層來剝離形成在所述犧牲層上的第二有機層，并將剩余的第二有機層形成為第二有機層圖案。

本申請是申請日為2011年01月05日、申請?zhí)枮?01110006544.5、名稱為“制造高分辨率有機薄膜圖案的方法”的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本實施例涉及一種制造有機薄膜圖案的方法，并且更為具體地，涉及一種能實現(xiàn)簡單制造工藝、穩(wěn)定性及低成本的制造高分辨率有機薄膜圖案的方法。

背景技術(shù)

有機物容易與其它物質(zhì)結(jié)合并且容易處理以便呈現(xiàn)期望的光電特性，因此它們作為有利于高性能且低成本下一代電子設(shè)備的材料而受到矚目。

雖然低分子有機材料已經(jīng)用于利用真空沉積方法制造有機發(fā)光顯示設(shè)備或有機薄膜晶體管，但是由于真空工藝和陰影掩膜的有限分辨率而不容易制造高分辨率器件。

發(fā)明內(nèi)容

本實施例克服了上述問題，還提供了另外的優(yōu)點。本實施例提供一種能實現(xiàn)簡單制造工藝、穩(wěn)定性及低成本的制造高分辨率有機薄膜圖案的方法。

根據(jù)本實施例的一方面，提供一種形成有機薄膜圖案的方法，該方法包括：在基板上形成第一有機層；通過選擇性地向所述第一有機層照射光能來選擇性地去除所述第一有機層，并將所述第一有機層的剩余部分形成為犧牲層；在所述基板以及所述犧牲層的整個表面上形成第二有機層；以及通過利用溶劑去除所述犧牲層來剝離形成在所述犧牲層上的第二有機層，并將剩余的第二有機層形成為第二有機層圖案。

在形成所述第一有機層時，所述第一有機層可以包括氟基聚合物。

在選擇性地去除所述第一有機層時，使用激光燒蝕方法向布置在所述第一有機層上的具有預(yù)定圖案的掩膜照射激光。

在選擇性地去除所述第一有機層時，可以照射受激準(zhǔn)分子激光。

在形成所述第二有機層時，所述第二有機層可以包括包含布置在所述基板上且位于第一電極與第二電極之間的有機發(fā)光材料的有機發(fā)光器件(OLED)的有機發(fā)光材料。

可以形成不同顏色的多層有機發(fā)光材料以便發(fā)出白光。

在形成所述第二有機層時，所述第二有機層可以是有機薄膜晶體管的有源層。

在形成所述第二有機層時，所述第二有機層可以包括有機濾色器材料。

在形成所述第二有機層時，所述第二有機層可以利用沉積方法形成。

在剝離所述第二有機層時，所述溶劑可以是氟基溶劑。

根據(jù)本實施例的另一方面，提供一種形成有機薄膜圖案的方法，該方法包括：(a)在基板上形成第一有機層；(b)通過選擇性地向所述第一有機層照射光能來選擇性地去除所述第一有機層，并由所述第一有機層的剩余部分形成犧牲層；(c)在所述基板以及所述犧牲層的整個表面上形成第二有機層；(d)通過利用溶劑去除所述犧牲層來剝離所述第二有機層的形成在所述犧牲層上的部分，并且由剩余的第二有機層形成第二有機層圖案；以及(e)在形成有所述第二有機層圖案的基板上連續(xù)執(zhí)行(a)至(d)的單元工藝，并且在所述基板的未形成所述第二有機層圖案的區(qū)域上形成另一第二有機層圖案。

在形成所述第一有機層時，所述第一有機層可以包括氟基聚合物。

在選擇性地去除所述第一有機層時，使用激光燒蝕方法向布置在所述第一有機層上的具有預(yù)定圖案的掩膜照射激光。

在選擇性地去除所述第一有機層時，可以照射受激準(zhǔn)分子激光。