[發明專利]可用于動態心電測量的柔性心電電極及制作方法

在審

• 申請號: 201610115108.4
• 申請日: 2016-03-01
• 公開（公告）號: CN105615874A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 裴為華;張賀;郭旭宏;陳弘達
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: A61B5/0408
• 分類號: A61B5/0408
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種可用于動態心電測量的柔性心電電極，該柔性心電電極由柔性 襯底(1)、硬質微針陣列(2)、導電層(3)和絕緣層(4)構成，所述硬 質微針陣列(2)直接鍵合在柔性襯底(1)上，所述導電層(3)設于所 述柔性襯底(1)和硬質微針陣列(2)上，所述絕緣層(4)設于導電層 (3)上，所述柔性襯底(1)的材料為聚二甲基硅氧烷PDMS，所述硬質微 針陣列(2)的材料為硅，所述導電層(3)的材料為鈦/金，所述絕緣層 (4)的材料為聚對二甲苯Parylene，所述電極被聚對二甲苯Parylene 絕緣層(4)包裹，只有微針陣列(2)針尖區域和電極背面部分區域暴露 出導電層(3)。

2.根據權利要求1所述的可用于動態心電測量的柔性心電電極，其特 征在于，所述柔性聚二甲基硅氧烷PDMS襯底(1)的厚度為10微米到500 微米之間。

3.根據權利要求2所述的可用于動態心電測量的柔性心電電極，其特 征在于，所述聚對二甲苯Parylene絕緣層(4)的厚度為1微米到10微 米之間。

4.一種權利要求1所述的可用于動態心電測量的柔性心電電極用于動 態心電測量的用途。

5.一種制造如權利要求1-3任一所述的可用于動態心電測量的柔性心 電電極的方法，其制作步驟是：

1)通過劃片工藝在硅片上制作硅方柱陣列；

2)通過濕法腐蝕將硅方柱陣列腐蝕成硅微針陣列；

3)通過鍵合技術將微針陣列背面硅鍵合在柔性聚二甲基硅氧烷PDMS 襯底表面；

4)通過再次劃片將微針與微針之間的硅片全部劃掉，形成直接鍵合 在柔性聚二甲基硅氧烷PDMS襯底層上的硅微針陣列；

5)通過磁控濺射在柔性硅微針陣列上雙面濺射一層導電層，形成柔 性電極；

6)通過化學氣相沉積在電極四周沉積一層聚對二甲苯Parylene絕緣 層；

7)在電極正面旋涂一層聚酰亞胺保護住微針根部，暴露出針尖；

8)通過氧等離子體刻蝕將針尖部位的聚對二甲苯Parylene絕緣層干 刻掉，暴露出針尖部位的導電層；

9)通過顯影液將聚酰亞胺保護層去除。

6.根據權利要求5所述的可用于動態心電測量的柔性心電電極的制作 方法，其特征在于，所述柔性聚二甲基硅氧烷PDMS襯底(1)的厚度為10 微米到500微米之間。

7.根據權利要求5所述的可用于動態心電測量的柔性心電電極的制作 方法，所述聚對二甲苯Parylene絕緣層(4)的厚度為1微米到10微米 之間。