[發明專利]一種壓印電極微柵薄膜的模具輥制作方法

有效

• 申請號: 201610114065.8
• 申請日: 2016-03-01
• 公開（公告）號: CN105666848B
• 公開（公告）日: 2018-04-24
• 發明（設計）人: 邱曉華;王新輝
• 申請（專利權）人: 南通天鴻鐳射科技有限公司
• 主分類號: B29C59/04
• 分類號: B29C59/04;B08B3/12;B23K26/362;C25D5/02
• 代理公司: 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙)11316
• 代理人: 滑春生

1.一種壓印電極微柵薄膜的模具輥制作方法，其特征在于：所述制作方法具體步驟如下：

（1）在模具輥的外表面涂覆一層厚度為2-4μm的掩蔽膠；

（2）通過激光直寫裝置直寫光蝕掉掩蔽膠層，直至模具輥金屬表面，在模具輥上形成寬度為3-5μm，高度為2-4μm的槽狀電極微柵圖形，使用3W短波長266nm激光，線掃描速度500mm/秒，數毫秒即可蝕去掩蔽膠；

（3）采用超聲水清洗處理光蝕后的模具輥，去除殘留在電極微柵圖形上的掩蔽膠以及模具輥表面輕微的金屬氧化物殘渣，超聲功率控制在1500～2000W范圍內，超聲頻率控制在20～130kHz范圍內，模具輥旋轉速度20～120轉/分鐘，采用電阻大于12兆歐，且溫度在20～40℃范圍內的純水進行清洗100～150s；

（4）通過電沉積處理，處理后，在模具輥上形成凸起的電極微柵圖形紋路；所述步驟（4）中的電沉積處理為電沉積鎳或電沉積銅中的一種，所述電沉積銅采用氟硼酸銅鹽溶液沉積金屬銅的溫度為25至50攝氏度，陰極電流密度5至30 安培/平方分米，輥筒旋轉速度20至60轉/分鐘，沉積金屬銅到需要厚度；所述電沉積鎳采用氟硼酸鎳型溶液，工作溫度45至55攝氏度，陰極電流密度2.5至10 安培/平方分米，輥筒旋轉速度20至60轉/分鐘，沉積金屬鎳到需要厚度。