[發明專利]一種用于金剛石線切割硅片的冷卻液在審
| 申請號： | 201610113566.4 | 申請日： | 2016-02-29 |
| 公開（公告）號： | CN107129858A | 公開（公告）日： | 2017-09-05 |
| 發明（設計）人： | 孫培亞;劉瑞鴻;唐駿;余剛 | 申請（專利權）人： | 鎮江榮德新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | C10M173/02 | 分類號： | C10M173/02;C10N30/04;C10N20/02;C10N30/12 |
| 代理公司： | 北京金信知識產權代理有限公司11225 | 代理人： | 朱梅,師楊 |
| 地址： | 212200 江蘇省鎮*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 金剛石 切割 硅片 冷卻液 | ||
1.一種用于金剛石線切割的水基冷卻液，其包含99.8-99.95重量份的水、0.01-0.07重量份的潤濕劑、0.01-0.07重量份的乳化分散劑、0.01-0.05重量份的消泡劑和0.001-0.015重量份的金屬抑制劑。
2.根據權利要求1所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液，其包含99.8-99.95重量份的水、0.05-0.07重量份的潤濕劑、0.03-0.06重量份的乳化分散劑、0.03-0.05重量份的消泡劑和0.005-0.015重量份的金屬抑制劑。
3.根據權利要求1所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液，其包含99.8-99.95重量份的去離子水、0.01-0.05重量份的潤濕劑、0.01-0.04重量份的乳化分散劑、0.01-0.04重量份的消泡劑及0.001-0.005重量份的金屬抑制劑。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液，其中，所述潤濕劑為選自脂肪醇硫酸鹽、烷基磺酸鹽、烷基丁二酸磺酸鹽、辛基酚聚氧乙烯醚中的一種或兩種以上。
5.根據權利要求1至3中任一項所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液，其中，所述乳化分散劑為選自聚乙烯醇、聚乙二醇、聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、多元醇酯中的一種或兩種以上。
6.根據權利要求1至3中任一項所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液，其中，所述消泡劑選自有機硅氧烷和聚醚中的一種或兩種以上。
7.根據權利要求1至3中任一項所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液，其中，所述金屬抑制劑為選自三乙醇胺、亞硝酸鈉、苯并三氮唑及亞磷酸二正丁酯中的一種或兩種以上。
8.根據權利要求1至3中任一項所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液，其中，所述潤濕劑為選自石油磺酸鈉、辛基酚聚氧乙烯醚和琥珀酸二異辛酯磺酸鈉中的一種或兩種以上。
9.根據權利要求1至3中任一項所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液，其中，所述乳化分散劑為選自聚乙二醇200、馬來酸二乙基己酯中的一種或兩種混合物。
10.一種制備權利要求1所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液的方法，該方法包括：
1)將0.001-0.015重量份的金屬抑制劑及0.01-0.05重量份的消泡劑添加至99.8-99.95重量份的水中攪拌均勻；以及
2)將0.01-0.07重量份的潤濕劑和0.01-0.07重量份的乳化分散劑添加至步驟1)所得到的混合液中，攪拌均勻得到用于金剛石線切割的水基冷卻液。
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