[發明專利]四甲基氫氧化銨的回收利用裝置及方法

有效

• 申請號: 201610113326.4
• 申請日: 2016-03-01
• 公開（公告）號: CN105541641B
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 陳江;杜騰飛;熊社會;王永開
• 申請（專利權）人: 石家莊誠志永勝電子科技有限公司
• 主分類號: C07C211/63
• 分類號: C07C211/63;C07C209/86
• 代理公司: 北京市蘭臺律師事務所 11354
• 代理人: 白偉

1.一種四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一，接收顯影廢液；

步驟二，通過離子交換材料吸附廢液中的四甲基銨陽離子，去除光刻膠等雜質；

步驟三，通過硫酸洗脫吸附在交換材料中的四甲基銨陽離子，得到硫酸四甲基銨溶液；

步驟四，將步驟三中獲得的硫酸四甲基銨溶液與四氟材料及沉淀劑反應，得到四甲基氫氧化銨溶液和硫酸鹽沉淀物；

步驟五，將步驟四中獲得的四甲基氫氧化銨溶液和硫酸鹽沉淀物進行過濾，得到四甲基氫氧化銨粗產物；

步驟六，將步驟五獲得的四甲基氫氧化銨粗產物通過離子交換材料，得到純凈的四甲基氫氧化銨；

其中，所述方法采用的回收利用裝置包括：廢液槽(1)、第一離子交換床(2)、硫酸儲槽(3)、中間儲槽(4)、沉淀劑儲槽(5)、反應釜(6)、過濾裝置(7)和第二離子交換床(8)；所述廢液槽(1)和硫酸儲槽(3)與所述第一離子交換床(2)一端連接，所述第一離子交換床(2)另一端連接中間儲槽(4)，中間儲槽(4)和沉淀劑儲槽(5)與所述反應釜(6)一端連接，所述反應釜(6)另一端連接過濾裝置(7)，所述過濾裝置(7)連接第二離子交換床(8)。

2.根據權利要求1所述的四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，步驟二和步驟六中所述離子交換材料為陽離子交換樹脂。

3.根據權利要求1或2中任一項所述的四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，所述顯影廢液中包含四甲基氫氧化銨和/或光刻膠和/或金屬離子。

4.根據權利要求1所述的四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于：

所述廢液槽(1)，用于接收存儲顯影廢液，顯影廢液中包含四甲基氫氧化銨、光刻膠、金屬離子；

所述第一離子交換樹脂床(2)，填充陽離子交換樹脂；顯影廢液經過第一離子交換樹脂床(2)后，顯影廢液中的四甲基銨陽離子被吸附，實現與光刻膠分離；

所述硫酸儲槽(3)，提供硫酸，用于洗脫吸附其中的四甲基銨陽離子得到硫酸四甲基銨；

所述中間儲槽(4)，用于存儲經過第一離子交換樹脂床(2)產生的硫酸四甲基銨；

所述沉淀劑儲槽(5)，內置沉淀劑；

所述反應釜(6)，內襯四氟材料，用于使硫酸四甲基銨和沉淀劑反應，生產四甲基氫氧化銨和硫酸鹽沉淀；

所述過濾裝置(7)，用于將反應后的溶液經過過濾裝置固液分離，得到四甲基氫氧化銨粗產物；

所述第二離子交換樹脂床(8)，填充陽離子交換樹脂，用于將四甲基氫氧化銨粗產物經過陽離子交換樹脂去除其他金屬離子，得到純凈的四甲基氫氧化銨。