[發明專利]一種低溫真空泵

有效

• 申請號: 201610110212.4
• 申請日: 2016-02-29
• 公開（公告）號: CN105626478B
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 張天松;胡仁農
• 申請（專利權）人: 蕪湖環球汽車配件有限公司
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08;F04B37/14;F04B39/06;F04B39/10;F04B39/12;C08L75/04;C08L83/04;C08K13/04;C08K7/06;C08K7/12;C08K3/34;C08K5/098;C08K5/20
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本發明公開一種低溫真空泵，包括法蘭、泵體、第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組，所述法蘭設在泵體頂端，所述法蘭與泵體焊接，所述第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組設在泵體內，所述第一冷凝翅片組成水平分布，所述第二冷凝翅片組成垂直分布，所述第二冷凝翅片組外側安裝有真空罩，所述真空罩與泵體固定連接，所述泵體底部設置有制冷機，所述第一冷凝翅片組中部安裝有第二級冷頭，所述真空罩下方安裝有第一級冷頭，所述第二級冷頭、第一級冷頭和制冷機依次密封連通，所述制冷機一側安裝有泄壓閥和制冷機驅動器，該低溫真空泵能夠獲得和維持潔凈無油的高真空及超高真空，結構緊湊，安裝方便可靠，維護方便。

技術領域

本發明涉及一種泵體技術領域，特別是涉及一種低溫真空泵。

背景技術

低溫真空泵指的是利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。隨著微電子技術、半導體工業和空間模擬技術等現代科技和工業的發展，對高潔凈度的無污染工作環境的要求越加迫切。電子工業和真空鍍膜工業，尤其是半導體微電子技術，半導體和集成電路工藝技術要求能獲得無油的真空環境。

傳統的“油泵”真空系統，無論從潔凈的要求還是極限真空度的要求來看，都不能滿足要求。研究指出，在現有可用的獲得高真空的方法中，離子泵的理論真空極限為10-9Pa，分子泵為10-8 Pa，低溫泵為10-18 Pa。可見，低溫泵是所有真空泵中能獲得真空度最高的也是最清潔的真空泵。

低溫冷凝真空泵的工作原理就是當氣體分子入射到溫度足夠低的固體表面時，會被冷凝吸附于該低溫表面，以至蒸氣壓力降得很低，從而獲得高真空（10-7-10-11Pa）。早在上世紀50年代末期，由于空間模擬、高速風洞和高能加速器等研究的需要，使采用低溫液體冷源的低溫真空泵獲得發展。1965年以后，小型封閉循環低溫制冷機的問世，為低溫泵的進一步發展和應用開辟了新路。從此，采用低溫制冷機作為冷卻源的低溫冷凝真空泵走向大規模的工業應用。低溫抽氣就是在低溫下使被抽空間內的氣體被低溫表面冷凝凝聚、捕集吸附，從而使被抽空間的壓強降低的過程。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種能夠獲得和維持潔凈無油的高真空及超高真空，結構緊湊，安裝方便可靠，維護方便的低溫真空泵。

為解決上述問題，本發明采用如下技術方案：

一種低溫真空泵，包括法蘭、泵體、第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組，所述法蘭設在泵體頂端，所述法蘭與泵體焊接，所述第一冷凝翅片組和第二冷凝翅片組設在泵體內，所述第一冷凝翅片組成水平分布，所述第二冷凝翅片組成垂直分布，所述第二冷凝翅片組外側安裝有真空罩，所述真空罩與泵體固定連接，所述泵體底部設置有制冷機，所述第一冷凝翅片組中部安裝有第二級冷頭，所述真空罩下方安裝有第一級冷頭，所述第二級冷頭、第一級冷頭和制冷機依次密封連通，所述制冷機一側安裝有泄壓閥和制冷機驅動器。

進一步的，所述法蘭上設置有螺紋孔，方便進行安裝。

進一步的，所述第一冷凝翅片組冷卻溫度為80k，能夠進行預冷卻。

進一步的，所述第二冷凝翅片組冷卻溫度為15k，可實現氫的凝結，獲得高真空環境。

進一步的，所述制冷機驅動器與制冷機電性連接，保持制冷機驅動方便快捷。

進一步的，所述真空罩按質量份數配比由以下材料制成：聚氨酯硬泡15-20份、膨脹珍珠巖25-30份、礦物棉8-12份、碳纖維4-6份、硬脂酸鋁16-20份、硬脂酸鉀6-10份、硅油2-8份、脂肪酸酰胺15-20份和鄰苯二甲酸二乙酯22-28份。