[發明專利]一種爐管Gauge觸發點的監控方法

有效

• 申請號: 201610109829.4
• 申請日: 2016-02-29
• 公開（公告）號: CN105573175B
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 魏巍;俞瑋;裴雷洪
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G05B19/04
• 分類號: G05B19/04
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)31275
• 代理人: 吳世華,陳慧弘

技術領域

本發明涉及半導體集成電路設備維護技術領域，更具體地，涉及一種可對爐管的Gauge(量測)觸發點偏移進行監控的方法。

背景技術

目前用于對半導體晶圓(Wafer)進行例如擴散處理的爐管，如日本東京電子公司(TEL)Formula機型的爐管，在特氣管路中設有若干針對特氣壓力進行監控的量測儀表，對管路中的特氣壓力進行檢測，以便當管路中特氣壓力達到量測觸發點(Gauge Trigger Point)時發出工藝中止的警報(RecipeAbort)，避免晶圓報廢。

量測儀表設有Gauge觸發點的調校點、信號燈和量測端。其中，量測端可連接萬用表的測頭，用于對觸發點的設定值進行量測(萬用表以電壓形式顯示，與觸發點的壓力設定值對應，即1V＝1Torr)；調校點用于對觸發點的設定值(以壓力值形式表示)進行調節，并可在萬用表的表盤顯示調節后對應的電壓值；信號燈在管路中特氣壓力未超出觸發點的設定值時為亮燈狀態，而在管路中特氣壓力超出觸發點的設定值時為關燈狀態。量測儀表與機臺的控制系統相連，以在管路中特氣壓力超出觸發點的設定值時通知控制系統發出“Recipe Abort”警報，中止工藝。

然而，上述的例如Formula機型的爐管，其Gauge觸發點只是在安裝機臺的時候檢測一次，之后就沒有檢測機制來監控和有效管理Gauge觸發點。而隨著時間的推移以及爐管機臺環境中各種因素的影響，觸發點的設定值會發生偏移(即Gauge觸發點偏移)的問題。例如，某Gauge觸發點的設定值為5Torr(即管路中的特氣壓力管控值為5Torr，萬用表的顯示值對應為5V)，如設定值偏移為4Torr時，當管路中的特氣壓力達到4Torr時，信號燈即提前由亮燈狀態變為關燈狀態；此時，控制系統將錯誤地發出“Recipe Abort”警報，該管路中的特氣將打不開，且工藝被中止，如此會帶來晶圓報廢的風險，且還具有安全隱患。

由于目前機臺自身沒有偵測Gauge觸發點偏移的手段，因而經常發生Gauge觸發點被錯誤觸發而報警的問題，對安全生產也造成了一定的影響。鑒于Gauge觸發點在實際生產過程中的作用非常關鍵，如果能夠時刻監控Gauge觸發點偏移的問題，并能夠實現自動報警，這樣就可實現對Gauge觸發點的自動監控，從而可以提前預防產品報廢風險，方便管理，并起到安全生產的良好效果。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術存在的上述缺陷，提供一種爐管Gauge觸發點的監控方法，可實現對Gauge觸發點偏移時的自動報警監控。

為實現上述目的，本發明的技術方案如下：

一種爐管Gauge觸發點的監控方法，所述爐管的特氣管路中設有針對特氣壓力進行監控的量測儀表，所述量測儀表設有Gauge觸發點，并設有Gauge觸發點對應的調校點、信號燈和量測端，所述信號燈在特氣壓力未超出觸發點的設定值時為亮燈狀態、在超出觸發點的設定值時為關燈狀態并觸發報警，包括以下步驟：

步驟一：建立量測儀表與一控制單元之間的連接；

步驟二：在控制單元設定小于Gauge觸發點設定值的一閾值，并設置一警報模塊；

步驟三：控制單元將從量測儀表接收的特氣壓力值與閾值進行比較，并根據信號燈的亮燈或關燈狀態，判斷Gauge觸發點是否偏移，并在偏移時控制延遲信號燈的報警觸發時間，同時觸發警報模塊報警；

其中，通過在所述控制單元設置軟件互鎖編程模塊，設定閾值并進行軟件互鎖語句編程，實現對爐管Gauge觸發點的監控。

優選地，當發生特氣壓力值小于閾值、同時信號燈處于關燈狀態時，控制單元判斷Gauge觸發點偏移；當發生特氣壓力值大于閾值、同時信號燈處于亮燈狀態時，控制單元判斷Gauge觸發點未偏移。

優選地，所述控制單元連接爐管的控制系統。

優選地，所述爐管為Formula機型。

優選地，所述閾值小于Gauge觸發點設定值10％以內。

優選地，所述軟件互鎖編程模塊連接警報模塊。

優選地，所述軟件互鎖編程模塊連接量測儀表。