[發明專利]一種OLED制備方法和OLED器件

有效

• 申請號: 201610109742.7
• 申請日: 2016-02-26
• 公開（公告）號: CN105609658B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 顧鵬飛;劉鳳娟;孫宏達
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 黃志華

1.一種OLED制備方法，包括在有機膜層上直接形成陽極金屬膜層并使所述陽極金屬膜層形成包括陽極的圖案的陽極層的步驟，其特征在于，

所述使所述陽極金屬膜層形成包括所述陽極的圖案的所述陽極層之前，先在所述陽極金屬膜層上直接形成無機物膜層。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

在所述無機物膜層上形成光刻膠，使所述光刻膠形成與所述陽極相同的圖案；

使所述無機物膜層圖案化；

使所述陽極金屬膜層形成所述陽極層。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，通過干刻法使所述無機物膜層圖案化。

4.如權利要求2所述的方法，其特征在于，通過濕刻法使所述陽極金屬膜層形成所述陽極層。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，通過等離子體增強化學氣相沉積法在所述陽極層之上形成所述無機物膜層的。

6.一種OLED器件，其特征在于，以權利要求1至5任一項所述的方法制備。

7.如權利要求6所述的OLED器件，其特征在于，所述有機膜層為有機襯底。

8.如權利要求6所述的OLED器件，其特征在于，所述陽極的材料為銀、鋁、銅材料。

9.如權利要求6所述的OLED器件，其特征在于，所述無機物膜層的材料為氧化硅材料。