[發明專利]一種零壓燒結高密度ITO靶材工藝

在審

• 申請號: 201610108132.5
• 申請日: 2016-02-29
• 公開（公告）號: CN105645931A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 羅永春
• 申請（專利權）人: 蕪湖映日科技有限公司
• 主分類號: C04B35/01
• 分類號: C04B35/01;C04B35/622;C04B35/64
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 胡定華

1.一種零壓燒結高密度ITO靶材工藝，其特征在于：所述ITO靶材的制作工藝步驟為：制粉-粉處理-造粒-成型-燒結-機加工-綁定-檢驗，其中燒結為將上一道成型工序所得到的素胚置于高溫氧氣燒結爐中進行燒結，所述燒結工序中所用的燒結氣氛氧氣，純度為99.999%，所述燒結工序中所用的承燒板為Al₂O₃承燒板，純度為99.99%，所述燒結的時間及溫度分配如下：（一）以400℃/hr將爐溫升到1000℃以上，保溫10個小時，氧氣流量8L/min；（二）以100℃/hr將爐溫升到1200℃以上，保溫6個小時，氧氣流量12L/min；（三）以50℃/hr將爐溫升到1450℃以上，保溫4個小時，氧氣流量16L/min；（四）以50℃/hr將爐溫升到1600℃以上，保溫20個小時，氧氣流量20L/min，結束燒結。

2.如權利要求1所述的一種零壓燒結高密度ITO靶材工藝，其特征在于：所述燒結時使用的燒結電爐的爐內溫度為1500℃~1700℃，所述燒結電爐的加熱體功率為180KW。

3.如權利要求2所述的一種零壓燒結高密度ITO靶材工藝，其特征在于：所述的燒結電爐的內膛包括頂部、側壁和爐床，所述頂部、側壁和爐床上鋪設有隔熱板，所述頂部和側壁上還鋪設有陶瓷纖維，所述爐床上還鋪設有耐火隔熱磚。

4.如權利要求1-3任意一項所述的一種零壓燒結高密度ITO靶材工藝，其特征在于：所述燒結電爐的爐內壓力為零壓。