[發(fā)明專(zhuān)利]鎳金屬硅化物的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610107726.4
• 申請(qǐng)日: 2016-02-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105575790A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖天金;邱裕明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/285
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/285
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

1.一種鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：對(duì)暴露的硅襯底表面進(jìn)行預(yù)清洗，除去自然氧化物，在其上沉積鎳或 鎳合金；

S2：向工藝腔體中通入含有氫氣的氣體，去除工藝腔體中的氧氣，接著使 用氮?dú)鈨艋に嚽惑w中殘留的含有氫氣的氣體，然后在沉積鎳或鎳合金的硅襯 底進(jìn)入工藝腔體之后，通入含有氫氣的氣體進(jìn)行第一次退火，使鎳或鎳合金的 至少一部分與硅反應(yīng)，形成鎳金屬硅化物的混合物；

S3：移除未反應(yīng)的鎳或鎳合金；

S4：進(jìn)行第二次退火，使所述鎳金屬硅化物的混合物轉(zhuǎn)化為鎳金屬硅化物。

2.如權(quán)利要求1所述的鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于，所述第一 次退火的溫度為220℃～270℃，所述第一次退火的時(shí)間為30s～150s。

3.如權(quán)利要求1所述的鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于，所述第一 次退火通入的氣體為氫氣。

4.如權(quán)利要求1所述的鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于，所述第一 次退火通入的氣體為氫氣與氮?dú)獾幕旌蠚怏w。

5.如權(quán)利要求1所述的鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于，所述第二 次退火采用閃光燈進(jìn)行退火。

6.如權(quán)利要求5所述的鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于，所述第二 次退火的溫度為800℃～900℃，所述第二次退火的時(shí)間為0.003s～0.05s。

7.如權(quán)利要求1所述的鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于，所述鎳金 屬硅化物的混合物包括硅化二鎳與硅化鎳，所述鎳金屬硅化物為硅化鎳。

8.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于， 所述預(yù)清洗除去自然氧化物的步驟通過(guò)利用氬等離子體濺射移除硅襯底表面層 來(lái)完成。

9.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的鎳金屬硅化物的制備方法，其特征在于， 所述鎳或鎳合金通過(guò)物理氣相沉積法沉積在清洗后的硅襯底表面上。

10.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的鎳金屬硅化物的制備方法，鎳合金是 由鎳與包括鎢、鉭、鋯、鈦、鉿、鉑、鈀、釩、鈮、鈷的集合中的一種或多種 金屬形成的合金。